涡轮分子泵抽气的质谱分析.docx
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涡轮分子泵抽气的质谱分析涡轮分子泵(TurbomolecularPump,TMP)是一种常用于高真空系统中的抽气设备,其原理是通过高速旋转的转子将气体分子从进气口吸入,然后通过连续的碰撞和扩散过程将气体分子排出系统。质谱分析则是一种广泛应用于化学、生物、环境和材料科学等领域的分析技术,能够快速准确地确定物质的组成和结构。本文将结合涡轮分子泵和质谱分析两个主题,深入探讨涡轮分子泵抽气过程中的质谱分析方法和应用。一、涡轮分子泵的原理和结构涡轮分子泵主要由转子、定子和泵体组成。转子是整个泵的核心部分,由若干个叶
一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构.pdf
一种用于提高涡轮分子泵抽气速率的过渡结构,不仅适用于大口径涡轮分子泵与小口径真空管道过渡连接,还可直接应用到涡轮分子泵入口结构,将涡轮分子泵泵入口直接过渡到小口径形式,可直接与小口径真空管道相连,与未采用本发明过渡结构的涡轮分子泵相比,可将抽气速率进一步提升5%左右。当作为大口径涡轮分子泵与小口径真空管道转接结构时,包括圆弧过渡段、小口径法兰、大口径法兰及锥形端盖反射屏,圆弧过渡段小径端与小口径法兰相固连,圆弧过渡段大径端与大口径法兰相固连。当作为涡轮分子泵入口结构时,包括圆弧过渡段、小口径法兰及锥形端盖
基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究.docx
基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究摘要:涡轮分子泵是一种常用的高真空抽气装置,具有体积小、轻量化、高抽速等特点,被广泛应用于航空航天、真空冶金等领域。本研究基于DSMC(DirectSimulationMonteCarlo)方法,对涡轮分子泵在跨流态工况下的抽气性能进行了研究。通过建立跨流态模型并进行数值模拟,探究了跨流态对涡轮分子泵抽气性能的影响,为进一步优化涡轮分子泵的设计和性能提供了理论依据。关键词:涡轮分子泵,跨流态,DSMC方法,抽气性能
质谱用涡轮分子泵控制电路.pdf
本发明公开了一种质谱用涡轮分子泵控制电路,其包括一上位机PC,所述上位机PC通过一通信接口连接一FPGA模块,所述FPGA模块连接一模数转换芯片模块;其还包括一控制电路模块,所述控制电路模块接电源模块,所述控制电路模块包括一涡轮分子泵启动电路、一Standby模式启动电路、一涡轮分子泵报错电路、一涡轮分子泵转速信号检测电路以及一涡轮分子泵状态检测电路;所述FPGA模块还连接这所述涡轮分子泵启动电路、一Standby模式启动电路和涡轮分子泵报错电路,所述模数转换芯片模块还连接着所述涡轮分子泵转速信号检测电路
涡轮分子泵.pdf
本发明是有关于一种涡轮分子泵,本发明的课题在于延缓因转子的温度上升而引起的蠕变速度。涡轮分子泵(1)在外壳构件(11)的内部包括转子翼(6)、定子翼(7)及间隔片(20)。使自最上段起第6段的间隔片(20a)的外周侧延伸至为大气压侧的外部侧,而形成到达基座(13)的上表面的冷却用厚壁部(21)。在冷却用厚壁部(21)设置冷却管(52),另外,使冷却用厚壁部(21)的内周侧面与第7段、第8段间隔片(20)的外周侧面接触,而予以保持。通过在冷却管(52)内循环的冷却媒体,经由冷却用厚壁部(21),使间隔片(2