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太阳能电池刻蚀方法及其设备.pdf
2023-10-20
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太阳能电池刻蚀方法及其设备.pdf
本发明涉及太阳能电池制作技术领域，特别是一种太阳能电池刻蚀方法及其设备，该方法为：首先电池片扩散后进行整体湿法抛光，然后通过传输滚轮将刻蚀液带到电池片背面的扩散面及电池片前进方向后端边缘，实现电池片背面及一侧边缘的刻蚀，而后将电池片三次旋转方向，在向前传输的过程中完成其他三个边缘的刻蚀。其刻蚀设备中传输滚轮表面刻有对刻蚀液具有毛细作用的特细环形槽，多个传输滚轮为一组，方向转动装置设置在相邻的两组传输滚轮之间。通过对电池片湿法抛光，实现预刻蚀的同时可去除部分电池片表面氧化层；传输滚轮蘸液刻蚀，可减少刻蚀电池
2023-10-20
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双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液.pdf
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2023-07-24
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刻蚀烘烤设备及其操作方法.pdf
本发明涉及一种刻蚀烘烤设备及其操作方法，该设备包括：容纳需进行烘烤的物件的反应炉；位于反应炉下方并对物件进行升降的升降装置；在升降过程中对物件进行冷却的层流冷却装置；位于反应炉内部、包括循环风冷却系统和水冷却系统的第一冷却组件，循环风冷却系统构造成通入气流进行冷却，水冷却系统构造成通入冷却水进行冷却；换热器；鼓风机；以及位于反应炉外部的第二冷却组件，第二冷却组件包括将循环风冷却系统、换热器和鼓风机连接成通风回路的通风管道。本发明所提供的这种刻蚀烘烤设备具有优化的布局、紧凑的结构，不但可以改善MOCVD的外
2023-06-20
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太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法.pdf
本发明公开了一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法，所述的设备包括装有刻蚀液的槽体和浸泡在槽体内的滚轮传动装置，其中，所述的槽体为连续的相互隔开的多腔室槽体，所述的槽体前端设有滴水保护装置。本发明设备和方法刻蚀后硅片上表面有小于0.1mm的刻蚀线或无刻蚀线，硅片的上下表面相互绝缘性高，硅片上表面得到有效保护，很好地解决了不同区域液体浓度不一致的问题。
2023-10-20
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SE太阳能电池的碱刻蚀方法.pdf
本发明提供一种SE太阳能电池的碱刻蚀方法，包括如下步骤：1）扩散；2）镭射掺杂；3）在氧化炉中对硅片进行热氧化，使硅片正面生成一层氧化层；4）去除硅片背面PSG；5）碱刻蚀；6）去除硅片正面PSG；7）清洗烘干。本发明其在镭射掺杂之后、去除硅片背面PSG之前，在硅片正面生成一层氧化层，该氧化层可在碱刻蚀过程中保护激光开槽区域，避免激光开槽区域被碱刻蚀液腐蚀。
2023-06-16
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