太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102800581A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102800581A(43)申请公布日2012.11.28(21)申请号201210309730.0(22)申请日2012.08.28(71)申请人常州捷佳创精密机械有限公司地址213125江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号(72)发明人左国军(74)专利代理机构深圳市康弘知识产权代理有限公司44247代理人胡朝阳孙洁敏(51)Int.Cl.H01L21/306(2006.01)H01L21/02(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图22页(54)发明名称太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法(57)摘要本发明公开了一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法，所述的设备包括装有刻蚀液的槽体和浸泡在槽体内的滚轮传动装置，其中，所述的槽体为连续的相互隔开的多腔室槽体，所述的槽体前端设有滴水保护装置。本发明设备和方法刻蚀后硅片上表面有小于0.1mm的刻蚀线或无刻蚀线，硅片的上下表面相互绝缘性高，硅片上表面得到有效保护，很好地解决了不同区域液体浓度不一致的问题。CN10285ACN102800581A权利要求书1/1页1.一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备，包括装有刻蚀液的槽体和浸泡在槽体内的滚轮传动装置，其特征在于：所述的槽体为连续的相互隔开的多腔室槽体，所述的槽体前端设有滴水保护装置。2.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述的槽体中各腔室用两块相互隔开的隔板间隔，两块隔板之间的腔室通过管路与循环系统连接。3.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述的滴水保护装置包括设置在所述槽体顶端的恒压桶，该恒压桶底部通过管路连接多个阀门，各阀门与设置在所述滚轮传动装置上方的滴水刀连接。4.如权利要求1所述的设备，其特征在于：所述的滴水保护装置设有监控滴水流量控制阀门开闭的控制装置。5.一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗方法，其特征包括下列步骤：（1）先通过滴水保护装置对滚轮传动装置上的硅片表面进行滴水，形成保护膜；（2）然后将硅片沿滚轮传动装置进入槽体各腔室进行湿法刻蚀。6.如权利要求5所述的太阳能电池片柔性刻蚀清洗方法，其特征在于：所述湿法刻蚀后的硅片上表面有小于0.1mm的刻蚀线。2CN102800581A说明书1/2页太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能硅片，具体涉及一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法。背景技术[0002]湿法刻蚀工艺是将刻蚀材料边缘与下表面浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的方法。在单多晶硅太阳能电池片中使用该方法将电池片边缘与下表面腐蚀掉一层，去除边缘和下表面的N型硅,使得硅片的上下表面相互绝缘。现有的电池片湿法刻蚀装置包括刻蚀槽和滚轮传输装置，刻蚀槽内装有刻蚀液，滚轮装置均安装在刻蚀槽内，浸没在刻蚀液中，太阳能硅片在滚轮上传输，完成刻蚀过程。现有技术存在以下问题：1、反应槽的药液容易蔓延到硅片上表面，硅片上表面边缘腐蚀过宽，药液产生的腐蚀性气体也会使硅片上表面受到不均匀腐蚀，导致电池片效率降低；2、硅片在和化学药品发生反应时会造成反应槽内的药液浓度出现区域性浓度不一致，这将导致硅片上下表面不能完全绝缘，导致电池片效率降低。发明内容[0003]本发明的目的是解决上述现有技术中存在的技术问题，提出一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备和方法。[0004]为解决上述技术问题，本发明提出的太阳能电池片柔性刻蚀清洗设备包括：装有刻蚀液的槽体和浸泡在槽体内的滚轮传动装置，其中，所述的槽体为连续的相互隔开的多腔室槽体，所述的槽体前端设有滴水保护装置。[0005]所述的槽体中各腔室用两块相互隔开的隔板间隔，两块隔板之间的腔室通过管路与循环系统连接。[0006]所述的滴水保护装置包括设置在所述槽体顶端的恒压桶，该恒压桶底部通过管路连接多个阀门，各阀门与设置在所述滚轮传动装置上方的滴水刀连接。[0007]所述的滴水保护装置设有监控滴水流量控制阀门开闭的控制装置。[0008]本发明还提出一种太阳能电池片柔性刻蚀清洗方法，包括下列步骤：a先通过滴水保护装置对滚轮传动装置上的硅片表面进行滴水，形成保护膜；b然后将硅片沿滚轮传动装置进入槽体各腔室进行湿法刻蚀。[0009]与现有技术相比，本发明设备和方法刻蚀后的硅片上表面有小于0.1mm的刻蚀线或无刻蚀线，硅片的上下表面相互绝缘性高，硅片上表面得到有效保护。此外，相比传统的溢流装置，新的多腔室结构能在槽体内随意分散开，很好地解决了不同区域液体浓度不一致的问题。附图说明[0010]下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明，其中：图1本发明装置的示意图；3CN102800581A说明书2/2页图2本发明中预处理滴水装置的示意图；图3本发明中多