刻蚀烘烤设备及其操作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103060769A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103060769103060769A(43)申请公布日2013.04.24(21)申请号201310038874.1(22)申请日2013.01.29(71)申请人杭州士兰明芯科技有限公司地址310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区东区10号路300号(72)发明人丁云鑫徐小明毛棋斌周永君邬建伟(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人茅翊忞(51)Int.Cl.C23C16/02(2006.01)C23C16/44(2006.01)权权利要求书3页利要求书3页说明书8页说明书8页附图7页附图7页(54)发明名称刻蚀烘烤设备及其操作方法(57)摘要本发明涉及一种刻蚀烘烤设备及其操作方法，该设备包括：容纳需进行烘烤的物件的反应炉；位于反应炉下方并对物件进行升降的升降装置；在升降过程中对物件进行冷却的层流冷却装置；位于反应炉内部、包括循环风冷却系统和水冷却系统的第一冷却组件，循环风冷却系统构造成通入气流进行冷却，水冷却系统构造成通入冷却水进行冷却；换热器；鼓风机；以及位于反应炉外部的第二冷却组件，第二冷却组件包括将循环风冷却系统、换热器和鼓风机连接成通风回路的通风管道。本发明所提供的这种刻蚀烘烤设备具有优化的布局、紧凑的结构，不但可以改善MOCVD的外延片的生长成品率和衬底片的重复利用率，而且占地面积小、工作效率高，便于工业应用和推广。CN103060769ACN103679ACN103060769A权利要求书1/3页1.一种刻蚀烘烤设备，其特征在于，包括：容纳需进行烘烤的物件的反应炉（10）；位于所述反应炉（10）下方并对所述物件进行升降的升降装置（1004）；在升降过程中对所述物件进行冷却的层流冷却装置（1005）；位于所述反应炉（10）内部的第一冷却组件，所述第一冷却组件包括循环风冷却系统（310）和水冷却系统（350），所述循环风冷却系统（310）构造成通入气流进行冷却，所述水冷却系统（350）构造成通入冷却水进行冷却；换热器（1009）；鼓风机（1010）；以及位于所述反应炉（10）外部的第二冷却组件，所述第二冷却组件包括将所述循环风冷却系统（310）、所述换热器（1009）和所述鼓风机（1010）连接成通风回路的通风管道（1013、1014、1015）。2.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述反应炉（10）和所述升降装置（1004）设置在第一外部框架（1007）内，并且与层流冷却装置（1005）一起构成炉体装置（1001）。3.如权利要求2所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述换热器（1009）和所述鼓风机（1010）设置在所述通风管道（1013、1014、1015）内或连接部处，并位于第二外部框架（1008）内。4.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述第一外部框架（1007）的后侧与所述第二外部框架（1008）的前侧连接，以形成前后布置的框架组件。5.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述换热器（1009）置于所述第二外部框架（1008）的下方，所述鼓风机（1010）置于所述第二外部框架（1008）的上方。6.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述通风管道（1013、1014、1015）由第一、第二和第三通风管道构成，其中，所述换热器（1009）位于第一通风管道（1013）和第二通风管道（1014）之间，并将第一和第二通风管道连接起来；所述鼓风机（1010）位于第二通风管道（1014）和第三通风管道（1015）之间，并将第二和第三通风管道连接起来。7.如权利要求6所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述第二通风管道（1014）沿上下方向安装在所述第二外部框架（1008）中，并位于所述换热器（1009）与所述鼓风机（1010）的右侧。8.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述第二外部框架（1008）在其相对两侧还设有电气控制柜（1011）和水路系统主管路（1012），所述电气控制柜（1011）和所述水路系统主管路（1012）设置在所述换热器（1009）的两侧。9.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述第一外部框架（1007）和所述第二外部框架（1008）分别安装有可调节高度的地脚（1018）。2CN103060769A权利要求书2/3页10.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述反应炉（10）放置在炉体框架（1003）上，所述炉体框架（1003）安装有地脚（1018）和/或万向轮（1019）。11.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备，其特征在于，所述反应炉（10）还包括反应室组件（100）和加热组件（200