双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114267580A(43)申请公布日2022.04.01(21)申请号202010974812.1(22)申请日2020.09.16(71)申请人松山湖材料实验室地址523000广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋(72)发明人陈伟刘尧平肖川张小虎王燕杜小龙(74)专利代理机构深圳市千纳专利代理有限公司44218代理人陈培琼(51)Int.Cl.H01L21/306(2006.01)H01L31/18(2006.01)C09K13/08(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图10页(54)发明名称双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液(57)摘要本发明公开了一种双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液，使晶硅片的背面浸入刻蚀液中，在温度8℃～40℃下刻蚀30s～180s，对晶硅片背面的金字塔形貌结构的塔尖进行刻蚀削平形成四棱台形貌结构。整个刻蚀方法工艺简单，与目前的刻蚀工艺兼容，能对晶硅片背面的金字塔形貌结构的塔尖进行刻蚀削平形成四棱台形貌结构，该四棱台形貌结构的顶面为平面，易于后续钝化膜的沉积，反射率可控，同时兼顾电池的光学和电学性能，得到的双面太阳能电池背面效率高，双面率高；同时所采用的刻蚀液不含氮，有效避免了现有技术酸刻蚀中的硝酸排放，废液处理成本低，对环保压力小，而且原料化学药液成本低，易于获得。CN114267580ACN114267580A权利要求书1/1页1.一种双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，其包括以下步骤：(1)预备扩散后的晶硅片,该晶硅片的背面上具有金字塔形貌结构，该金字塔形貌结构的底边长1～5微米，高度为0.7～3.5微米；(2)配置刻蚀液：将氟离子源、含氯的离子源、氧化剂和去离子水相混合获得刻蚀液，其中所述氟离子源的浓度为0.1mol/L～8mol/L，所述含氯的离子源的浓度为0.01mol/L～13mol/L，所述氧化剂的浓度为0.01mol/L～3mol/L；(3)背面刻蚀：将晶硅片平放于输送设备上，由输送设备向前输送，使晶硅片的背面浸入刻蚀液中，在温度8℃～40℃下刻蚀30s～180s，对晶硅片背面的金字塔形貌结构的塔尖进行刻蚀削平形成四棱台形貌结构，该四棱台形貌结构的底面边长1～5微米，顶面边长为0.3～3微米，高度为0.3～3微米；四棱台形貌结构的顶面为平面，易于钝化。2.根据权利要求1所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述晶硅片为P型硅片或N型硅片。3.根据权利要求1所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述氟离子源选自氢氟酸。4.根据权利要求1所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述含氯的离子源选自盐酸、次氯酸钠、亚氯酸钠、二氧化氯、氯气、氯酸钠或高氯酸钠。5.根据权利要求1所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述氧化剂选自过硫酸钠、双氧水、乙酸、过氧乙酸、高锰酸钾、浓硫酸中的一种或多种。6.根据权利要求1所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述输送设备为链式设备。7.根据权利要求1-6中任意一项所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述步骤(2)还添加有添加剂，该添加剂与刻蚀液的质量比为0.2～5:100。8.根据权利要求7所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述添加剂由以下质量份数比组分组成：0.1～5质量份十二烷基硫酸钠、1～3质量份柠檬酸钠、0.5～3质量份瓜尔豆胶、100质量份水。9.根据权利要求7所述的双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法，其特征在于，所述添加剂为十二烷基苯磺酸钠、柠檬酸钠、瓜尔豆胶中的一种或多种混合。10.一种权利要求1-9任意一项双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法中采用的刻蚀液。2CN114267580A说明书1/4页双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液技术领域[0001]本发明属于双面PERC太阳能电池技术领域，具体涉及一种双面PERC太阳能电池的背面结构刻蚀方法及其刻蚀液。背景技术[0002]晶硅太阳能电池一直占据着光伏发电市场的主导位置，提高电池的转换效率和降低成本是整个行业的发展目标。钝化发射极及背表面电池(PERC)技术只需要在常规铝背场(Al-BSF)太阳能电池的工艺基础上增加背面钝化和激光开槽的步骤，就可以较大幅度提升电池效率，是目前市场上最主流的高效太阳能电池技术。相较于传统的单面受光太阳能电池，双面太阳能电池利用正反两个受光面，能大幅度地提高短路电流，进而提升太阳能电池的转换效率，降低了成本。[0003]双面太阳能电池的背面结构