独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103014678A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103014678A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201110279821.X(22)申请日2011.09.20(71)申请人吉富新能源科技(上海)有限公司地址201707上海市青浦区北青公路8228号三区A1栋(72)发明人戴嘉男刘幼海刘吉人(51)Int.Cl.C23C16/54(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C16/24(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图33页(54)发明名称独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜(57)摘要本发明是独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜。其系统主要包含入口端、传动机构、抽真空腔、P.I.N型制程腔、出口端。每个腔体有传动轮轴及真空Pump，制程腔内有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极。本发明传动机构传片设置在入口端及出口端，其本体为一平台，传动机构传片上有线性马达及履带片。将平台利用线性马达及履带片作动作，此发明让平台照顺序对台车上的玻璃进行取片，接着平台上滚轮将平台移到台车内，平台作升降动作，将玻璃顶起置在平台上，接着平台回流至传动机构，平台用滚轮将玻璃传入到抽真空腔，随后抽真空及进行P.I.N型制程，完成制程后，以相反方向完成动作。如此可提高镀膜完整度，不易让玻璃受到脏污及损伤，可提高太阳能硅薄膜效率。CN1034678ACN103014678A权利要求书1/1页1.一种独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其系统主要包含入口端、入口端传动机构、抽真空腔、P.I.N型半导体制程腔、出口端，在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极，以进行制程；而本发明传动机构传片，则是设置在入口端及出口端处，其主要本体为一平台，在传动机构传片上设有线性马达及履带片，可以让平台可以作上升及下降工作，另外在平台上也设有滚轮轴承，此滚轮轴承可以将玻璃从台车取片出来放置于平台上；因此其发明是将平台利用线性马达及履带片作上升及下降动作，此发明可以让平台可以照顺序对台车上的玻璃进行取片，而不会造成平台撞到玻璃的可能，接着平台上的滚轮会将平台平移到台车上，然后使平台作升降动作，将玻璃顶起，并放置在平台上，接着平台会回流至传动机构上，平台上升至适当位置可以用滚轮方式将玻璃传入到抽真空腔内，随后抽真空及进行P.I.N型半导体制程，当完成制程后，其玻璃会再利用滚轮传到出口端并放置于平台上，接着平台同样利用履带升降，降到可以将玻璃移到台车位置，随后滚轮轴承将平台伸出至台车内部，并将玻璃放置于台车上，随后平台再回到传动机构上，即完成此动作；如此可以提高膜层镀膜完整度，且不易让玻璃受到脏污及损伤，可以提高太阳能硅薄膜效率。2.根据权利要求1所述的一种独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其中其传动机构传片可以在线性马达及履带片的传动下，将平台作上升下降的动作，此可以让玻璃在不需要人工搬运的情况下作上升下降以避免玻璃膜面受到脏污。3.根据权利要求1所述的一种独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其中平台上架设传动轮轴，此传动轮轴可以将平台作平移动作，可将平台平移到台车内部作取片或放片的动作，此设计可以让玻璃平稳的送到台车内，不会有破损的可能性发生。4.根据权利要求1所述的独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其加热及破真空腔体都设有Sensor定位校正，可让玻璃先进行校正定位，不会受到Slitvalve的开关而导致有挤压玻璃的可能性，且腔体都设有真空Pump及Vent的开关，可以藉由电脑界面观察其腔体的状况，可依现场实际状况作玻璃的抽真空及破真空动作。5.根据权利要求1所述的使用独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其制程P.I.N型半导体，同样也有Sensor进行定位校正，且其气体会从气流孔顺势而下到Showerhead作分流，当腔体内达到制程压力时，其RF即可开启进行镀膜，其镀膜后再传片至出口端作传动机构传片动作已完成制程，不会造成玻璃有破片或膜面受损的可能性发生，以提高整体制程完整性及良率。2CN103014678A说明书1/3页独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜所属技术领域[0001]本方法是将薄膜太阳能中的技术核心PECVD的传片技术，当TCO玻璃放置于台车上时，会开始利用传动机构进行传片，让玻璃可以从台车传入到PECVD腔体内，而传动机构需要经过特殊的设计，其要能够进入到台车内部，也要能够作升降及前后移动的特性，如此才可以将TCO玻璃顺利的传到入口端，并可进入到腔体内部抽真空及制程，完成后也需透过这样的传动机构，将镀膜后的玻璃顺利的传入到台车内，这样的设计除了不需要人