使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103014679A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103014679A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201110284054.1(22)申请日2011.09.23(71)申请人吉富新能源科技(上海)有限公司地址201707上海市青浦区北青公路8228号三区A1栋(72)发明人戴嘉男刘幼海刘吉人(51)Int.Cl.C23C16/54(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C16/24(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图33页(54)发明名称使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜(57)摘要本发明是使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜。其系统含出入口端、Carrier顶升、抽真空腔、P.I.N型制程腔。腔体内有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内有加热器、Showerhead及RF。本发明Carrier顶升是架在出入口端，其出入口端有传动轮轴外，其Carrier设有pin，且Carrier四周设有治具固定玻璃。Robot将TCO玻璃从台车取出送至入口端前，其入口端平面Carrier将pin顶升，让Robot送玻璃到Carrier上，由pin支撑TCO玻璃，随后Robot离开入口端，pin下降将玻璃放于Carrier上，Carrier治具移动压在玻璃上，像是玻璃被镶入到Carrier内，之后Carrier传入抽真空腔及P.I.N型制程，完成制程后，以反方向将玻璃取出完成。此发明目的是玻璃镶入在Carrier内，不会受到加热时产生翘曲及制程时由传导及辐射达到均温，可提升膜层加热均匀度及硅薄膜电池效率。CN1034679ACN103014679A权利要求书1/1页1.一种使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜，其系统主要包含入口端、入口端Carrier顶升、抽真空腔、P.I.N型半导体制程腔、出口端；在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔及RF电极，以进行制程；而本发明Carrier顶升技术则是架设在入口端及出口端处，其入出口端除了有传动轮轴外，其Carrier上都设有pin装置，且Carrier四周围也都设有治具，以便能够固定住玻璃，当Robot将TCO玻璃从台车上夹取出来时，并准备送至入口端前，其入口端的平面Carrier即会将pin顶升，并让Robot可以送TCO玻璃到Carrier上的pin，由pin去支撑TCO玻璃，随后当Robot离开入口端后，其pin则开始下降，将TCO玻璃平放于Carrier上方，完成之后，其Carrier四周的治具则开始移动，压在玻璃的四周上，此时从外观看则像是玻璃被镶入到Carrier上，完成后即可将此Carrier传入到抽真空腔内，并随后进行P.I.N型半导体制程，当完成制程后，Carrier传到出口端，此时其治具同样会开始移动，使治具离开镀膜后玻璃，且pin也在此时开始顶升，将玻璃顶到适当位置，随后Robot再取片至台车上即完成，此发明的主要目的就是将玻璃镶入在Carrier内，不会受到加热时产生翘曲以及在制程时可以就由传导热以及辐射热而达到均温效果，如此可提升膜层加热均匀度，则可以提升太阳能硅薄膜电池效率。2.根据权利要求1所述的一种使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜，其中在Carrier上设有可进行上升及下压的pin，以及可作移动式的治具，这两种发明可以让玻璃进入到PECVD之前可以作均匀的加热，且也不会造成玻璃因为大尺寸的关系而有变形翘曲的情形发生。3.根据权利要求1所述的一种使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜，其中在入口端及出口端都设有此Carrier，此当Robot作取片以及放片时，其Carrier上的pin可作上升下压且治具可作移动，让Robot作取片时不会有造成玻璃破片的危险，且可作完整的取放片动作。4.根据权利要求1所述的使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜，其加热及破真空腔体都设有Sensor定位校正，可让承载玻璃的Carrier先进行校正定位，不会受到Slitvalve的开关而导致有挤压Carrier的可能性，且腔体都设有真空Pump及Vent的开关，可以藉由电脑界面观察其腔体的状况，可依现场实际状况作玻璃的抽真空及破真空动作。5.根据权利要求1所述的使用Carrier顶升传片技术以进行硅薄膜镀膜，其制程P.I.N型半导体，同样也有Sensor进行定位校正，且其气体会从气流孔顺势而下到Showerhead作分流，当腔体内达到制程压力时，其RF即可开启进行镀膜，因为玻璃是在平面的Carrier保护下，故不易有破片的可能，且因为玻璃受