传动机构及应用该传动机构的镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102691054A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102691054A(43)申请公布日2012.09.26(21)申请号201110100180.7(22)申请日2011.04.21(30)优先权数据1001096362011.03.22TW(71)申请人财团法人工业技术研究院地址中国台湾新竹县(72)发明人杜陈忠江铭通梁沐旺陈冠州沈添沐何荣振(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人陈小雯(51)Int.Cl.C23C16/54(2006.01)C23C16/458(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书77页页附图附图77页(54)发明名称传动机构及应用该传动机构的镀膜装置(57)摘要本发明公开一种传动机构及应用其的镀膜装置，镀膜装置包含腔室提供活性物种，在腔室内对称设有多个传动机构，传动机构包括转轴、传动轮、多个滑件、第一弹性件、第二弹性件及封套元件，转轴具有锥形轴向端部，传动轮具有轴孔，转轴的锥形轴向端部同轴穿设于轴孔，多个滑件以传动轮轴心为中心沿传动轮径向放射状设置于传动轮，第一弹性件套设于多个滑件外，第二弹性件相对于该第一弹性件往该第一轴向端部的方向而套设于传动轮外，封套元件具有开口；传动轮往复移动时，可驱动滑件沿传动轮径向滑移，进而改变第一弹性件外径尺寸，使封套元件开口形成开放或封闭状态。CN1026954ACN102691054A权利要求书1/2页1.一种传动机构，包含：转轴，该转轴沿其轴心具有一呈锥形的轴向端部，该锥形轴向端部具有至少一锥面；传动轮，该传动轮沿其轴心具有相对的一第一轴向端部以及一第二轴向端部，该传动轮的第一轴向端部设有一轴孔，该转轴的锥形轴向端部同轴穿设于该轴孔内，该转轴与该传动轮之间设有至少一连接结构，使该传动轮可与该转轴同步转动，且该传动轮可与该转轴作平行于该传动轮的轴心方向的相对运动；多个滑件，每一该滑件具有相对的一第一端部以及一第二端部，该滑件的该第一端部及该第二端部之间延伸形成一轴心线，该多个滑件的轴心线以该传动轮的轴心为中心且沿着该传动轮的径向呈放射状设置于该传动轮，该滑件的第一端部朝向该传动轮的轴心且外露于该传动轮的轴孔内，该滑件的第二端部外露于该传动轮的外周缘；第一弹性件，设置于该传动轮内且围绕套设于该多个滑件的该第二端部的外围；第二弹性件，相对于该第一弹性件往该第一轴向端部的方向而套设于该传动轮的外周缘；以及封套元件，用以容置上述该转轴、该传动轮、该多个滑件、该第一弹性件以及该第二弹性件，该封套元件具有一开口，该传动轮的第二轴向端部外露于该开口，该传动轮与该转轴相对运动时，该多个滑件的第一端部可与该转轴的锥形轴向端部相对运动，并驱动该多个滑件沿着该传动轮的径向滑移，进而改变该第一弹性件的外径尺寸，通过该第一弹性件使该封套元件的开口形成开放或封闭状态。2.如权利要求1所述的传动机构，其中：该传动轮设有第一沟槽以及多个导孔，该第一沟槽以该传动轮的轴心为中心环绕设置该传动轮的周缘，该第一弹性件设置于该传动轮的第一沟槽内，该多个导孔沿着该传动轮的径向，且以该传动轮的轴心为中心呈放射状设置，每一该导孔具有相对的一第一轴向端部以及一第二轴向端部，该导孔的第一轴向端部与该轴孔相连通，该导孔的第二轴向端部与该第一沟槽相连通；以及每一该滑件由一支撑部以及一导柱构成，该导柱设置于该导孔内，该导柱的轴心是该滑件的轴心线，该导柱沿其轴心具有相对的一第一轴向端部以及一第二轴向端部，该支撑部设置于该导柱的第二轴向端部，且该支撑部位于该第一沟槽内，该导柱的第一轴向端部是该滑件的第一端部，该支撑部是该滑件的第二端部。3.如权利要求2所述的传动机构，其中每一该支撑部呈圆弧状，该传动轮与该转轴的该相对运动为该传动轮平行于该传动轮的轴心方向于一第一位置与一第二位置间往复移动，该传动轮位于该第二位置时，该多个滑件的支撑部的外围弧度围设形成一圆环形。4.如权利要求2所述的传动机构，其中该多个导孔是等角度设置，该滑件的数目与该导孔的数目相同，且该每一滑件的形状相同。5.如权利要求1所述的传动机构，其中该连接结构包括：至少一凹槽，设置于该转轴，该凹槽具有一长度，该凹槽的长度的延伸方向平行于该转轴的轴心方向；至少一凸键，设置于该传动轮的轴孔内相对于该凹槽的位置，该凸键具有一长度，该凸键的长度的延伸方向平行于该传动轮的轴心方向，且该凸键的长度小于该凹槽的长度，该凸键嵌设于该凹槽内。2CN102691054A权利要求书2/2页6.如权利要求1所述的传动机构，其中该转轴的锥形轴向端部是一圆锥形。7.如权利要求1所述的传动机构，其中该第二弹性件与该第一弹性件是同心设置。8.如权利要求1所述的传动机构，其中该第一弹性件及第二弹性件是O型环。9.