用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103774119103774119A(43)申请公布日2014.05.07(21)申请号201210399041.3(22)申请日2012.10.19(71)申请人陕西拓日新能源科技有限公司地址715200陕西省渭南市澄城县醍醐村东拓日太阳城(72)发明人陈五奎雷晓全李文江王斌王富军(74)专利代理机构北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)11370代理人孟海娟(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具(57)摘要本发明涉及镀膜装置，尤其涉及用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。本发明采取如下技术方案：包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮。所述一组以上的铝板之间距离相同。采用如上技术方案的本发明，具有如下有益效果：待镀膜的单面导电玻璃通过固定滚轮滚进去，固定即稳定，保证多组导电玻璃放置的一致性，保证非晶硅薄膜厚度的均一性，同时节省操作时间，提高产品质量。CN103774119ACN103749ACN103774119A权利要求书1/1页1.用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮（8）。2.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述一组以上的铝板之间距离相同。3.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述一个以上的相邻分布的铝板的下方有电极固定条（7），所述一个以上的相邻分布的铝板正负极交替分布。4.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，还包含将一个以上的相邻分布的铝板包围起来的上板（2）、两侧的夹具侧板（3）、后板（5）。5.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述夹具下方有轮子部分（4）。6.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述固定滚轮（8）为陶瓷结构。7.如权利要求1所述的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具，其特征在于，所述同一组高度相同的固定滚轮（8）与各自所依附的铝板的间距一致。2CN103774119A说明书1/2页用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具技术领域[0001]本发明涉及镀膜装置，尤其涉及用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。背景技术[0002]日前，硅基薄膜太阳能电池，采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)获取单结或多结的光电转换P-I-N膜层，在薄膜太阳能电池制造行业通用这种射频电容耦合平行电极板反应室。行业内通常把具有支撑框架的电极称为“夹具”，并把装在反应室内或腔内进行等离了体化学气相沉积的装置称为“沉积盒”。该夹具被广泛应用于非晶硅、非晶硅锗、碳化硅、氮化硅、氧化硅等材料薄膜的沉积。硅基薄膜太阳能电池是太阳能行业的一个重要分支，夹具成为了该行业的核心设备之一。如何高速沉积成为晶化硅基薄膜技术成为能够成功服务于产业的关键。[0003]但是，目前的薄膜夹具需要将待镀膜的导电玻璃一个个夹起来，浪费了大量的操作时间，并且各个导电玻璃最后的镀膜效果也不均匀，大大影响了生产效率和生产质量。发明内容[0004]发明的目的：为了提供一种镀膜均匀，不用夹持，安装方便，取导电玻璃方便的用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。[0005]为了达到如上目的，本发明采取如下技术方案：包含一个以上的相邻分布的铝板，所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮。[0006]本发明进一步技术方案在于，所述一组以上的铝板之间距离相同。[0007]本发明进一步技术方案在于，所述一个以上的相邻分布的铝板的下方有电极固定条，所述一个以上的相邻分布的铝板正负极交替分布。[0008]本发明进一步技术方案在于，还包含将一个以上的相邻分布的铝板包围起来的上板、两侧的夹具侧板、后板。[0009]本发明进一步技术方案在于，所述夹具下方有轮子部分。[0010]本发明进一步技术方案在于，所述固定滚轮为陶瓷结构。[0011]本发明进一步技术方案在于，所述同一组高度相同的固定滚轮与各自所依附的铝板的间距一致。[0012]采用如上技术方案的本发明，具有如下有益效果：待镀膜的单面导电玻璃通过固定滚轮滚进去，固定即稳定，保证多组导电玻璃放置的一致性，保证非晶硅薄膜厚度的均一性，同时节省操作时间，提高产品质量。附图说明[0013]附图为发明的结构示意图；[0014]其中：1.铝板部分；2.上板；3.夹具侧板；4.轮子部分；5.后板；6.前门部分；7.电极固定条；8.固定滚轮。3CN10377