一种PECVD真空腔体间内置封合装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103014657A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103014657A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201110282542.9(22)申请日2011.09.22(71)申请人吉富新能源科技(上海)有限公司地址201707上海市青浦区北青公路8228号三区A1栋(72)发明人周文彬刘幼海刘吉人(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图11页(54)发明名称一种PECVD真空腔体间内置封合装置(57)摘要本发明系提供一种PECVD真空腔体间内置封合装置，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连赶上设置有致动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的上下开合动作，达到真空腔体间的封合，本发明结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高，又同时设置于真空腔体内，不需额外在制作一小腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀线的产线总长度，大幅减少设备投入成本。CN1034657ACN103014657A权利要求书1/1页1.一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其特徵在于一气压缸11、直向移动齿轮12、圆形齿轮13、连杆14、封合板致动片15、封合板16、封合板密封圈17及连杆固定座18所组成。2.根据权利要求1所述之一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其中气压缸11以气压源驱动，使其活塞杆进行伸缩运动。3.根据权利要求1所述之一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其中直向移动齿轮12固定于气压缸活塞杆上，随著活塞移动而进行伸缩运动，又同时圆形齿轮13与直向移动齿轮12密接，当直向齿轮12伸缩移动时可带动圆形齿轮13在一定范围内旋转。4.根据权利要求1所述之一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其中连杆14固定于连杆固定座18。5.根据权利要求1所述之一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其中连杆14设置有4片封合板致动片15，封合板16锁固于封合板致动片15上，又封合板上设置封合板密封圈17，当连杆14旋转时，封合板致动片15可带动封合板16做开合移动，当闭合时封合板密封圈17可进行密封动作。2CN103014657A说明书1/2页一种PECVD真空腔体间内置封合装置技术领域[0001]本发明关于一种PECVD真空腔体间内置封合装置，特别关于一种PECVD真空腔体间封合用，以区隔不同程度的真空范围。[0002]背景技术[0003]当前，PECVD真空腔体封合装置大都使用外置式封合装置，也就是需要制作一小型真空腔体用以装置封合机构，此举不仅增加设备投入成本，也同时加长设备的总长度，使其在用运用时会被客户的厂房面积限制，于是本创作鉴于现有真空封合装置设计上有上述诸多缺失，乃藉其多年于相关领域的制造及设计经验和知识的辅佐，并经多方巧思，针对现有真空封合装置动作更新的研发，而研创出本创作。[0004]发明内容[0005]本发明在于提供一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其主要目的系为了提供一种真空腔体间内置封合装置，节省建置成本，同时后续保养为后也相当简单。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其特征在于一气压缸、直向移动齿轮、圆形齿轮、连杆、封合板致动片、封合板、封合板密封圈及连杆固定座所组成，通过外部气压缸带动齿轮组，使齿轮组在一定范围内旋转，又齿轮组连接一连杆，连赶上设置有致动块，用以锁固真空封合板，使封合板能随齿轮组旋转做90度的上下开合动作，达到真空腔体间的封合，本发明结构简单，安装容易，且完全不需电动力进行封合板的驱动，对于后续使用的可靠度相当高，又同时设置于真空腔体内，不需额外在制作一小腔体放置封合装置，大幅减少真空溅镀线的产线总长度，大幅减少设备投入成本。[0006]本发明有益效果为：1.本发明连轴器及连轴杆进行动力的传递，结构简单。[0007]2.本发明利用气压缸做为主动力来源，后续不需要维护保养，节省保养成本。具体实施方式[0008]下面结合附图对本发明做进一步说明。[0009]请参阅图1所示，为一种PECVD真空腔体间内置封合装置，其包括一气压缸11、直向移动齿轮12、圆形齿轮13、连杆14、封合板致动片15、封合板16、封合板密封圈17及连杆固定座18所组成。据此，当使用实施时请参阅图2所示，气压缸11以气压源驱动，使其活塞杆进行伸缩运动，直向移动齿轮12固定于气压缸活塞杆上，随着活塞移动而进行伸缩运动，又同时圆形齿轮13与直向移动齿轮12密接，当直向齿轮12伸缩移动时可带动圆形齿轮13在一定范围内旋转，连杆14固定于连杆固定座18，连杆14设置有