真空腔体遮挡装置.pdf
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真空腔体遮挡装置.pdf
本发明提供了一种真空腔体遮挡装置,包括支撑座、驱动机构、转动轴以及挡板,所述驱动机构包括马达、主动齿轮和从动齿轮,所述马达固定在所述支撑座上,所述马达的输出轴与所述主动齿轮枢接,所述从动齿轮与所述主动齿轮啮合,所述转动轴的一端与所述从动齿轮枢接,另一端密封地穿入所述真空腔体的腔壁并与所述挡板垂直固定连接,所述挡板容置于所述真空腔体内且位于所述真空腔体内的所述蒸发源与所述处理板之间,所述驱动机构驱动所述转动轴,所述转动轴带动所述挡板隔离或开通所述蒸发源与所述处理板的空间连接。本发明的真空腔体遮挡装置的结构简
真空腔体用自旋转装置.pdf
本发明公开了一种真空腔体用自旋转装置,包括旋转托盘、壳体和设于所述壳体内的螺旋状发条、内外斜齿齿轮、定向旋转叉和转动轴,内外斜齿齿轮为环形轮,该环形轮的内、外侧面上分别设有内、外斜齿,该内、外斜齿的倾斜方向相反;转动轴上端固定于旋转托盘上,转动轴下端依次穿过内外斜齿齿轮、发条和外壳;定向旋转叉包括若干个止档部,该定向旋转叉的中心固定于转动轴上,该若干个止档部的末端分别抵靠内斜齿;螺旋状发条的内端固定于转动轴上,外端固定于壳体上;在壳体内侧面上设有若干个棘爪,该若干个棘爪的末端抵靠外斜齿。该真空腔体用自旋转
真空腔体门安全防护装置.pdf
本发明涉及一种真空腔体门安全防护装置,安装于真空腔体门的把手一侧底角端,包括固定在真空腔体门门体上的主气缸,主气缸活塞杆连接有支撑轮,所述支撑轮在真空腔体门开闭过程中由主气缸推动向上支撑真空腔体门,支撑轮上开设有轴向插销孔,支撑轮侧面设有在真空腔体门开闭到位后插入轴向插销孔内锁死支撑轮的滚珠插销。本发明在真空腔体门开关门到位后,采用主气缸推动支撑轮支撑住真空腔体门,从而有效地防止了由于重力作用而导致真空腔体门向一侧倾覆而发生严重安全危险。同时也防止了真空腔体在维护过程中,由于开门造成真空腔体门重心前移产生
真空镀膜腔体中的三轴转基架装置.pdf
本发明公开了一种真空镀膜腔体中的三轴转基架装置,包括第一齿轮组、第二齿轮组、至少一个第一传动件、第三齿轮、第四齿轮组、至少一个第二传动件、第五齿轮组、第六齿轮组;第一齿轮组包括第一上齿轮和第一下齿轮,这两个齿轮相互固定在一起并一起转动,其中第一下齿轮固定在腔体内的底板上;第二齿轮组包括第二上齿轮,第二下齿轮,第二上齿轮具有第一传动件放置孔,该第二上齿轮通过第一传动件与第二下齿轮传动连接,其中第二下齿轮的底面与第一下齿轮的顶面成滑动连接。本发明可解决如何使产品保持三轴旋转从而解决在镀膜过程中样品之间相互遮挡
一种PECVD真空腔体间内置封合装置.pdf
本发明系提供一种PECVD真空腔体间内置封合装置,通过外部气压缸带动齿轮组,使齿轮组在一定范围内旋转,又齿轮组连接一连杆,连赶上设置有致动块,用以锁固真空封合板,使封合板能随齿轮组旋转做90度的上下开合动作,达到真空腔体间的封合,本发明结构简单,安装容易,且完全不需电动力进行封合板的驱动,对于后续使用的可靠度相当高,又同时设置于真空腔体内,不需额外在制作一小腔体放置封合装置,大幅减少真空溅镀线的产线总长度,大幅减少设备投入成本。