一种新型PECVD工艺腔体冷却控制装置.pdf

本实用新型公开了一种新型PECVD工艺腔体冷却控制装置,包括壳体,所述壳体的内壁底部安装有控温器,所述圆杆的外壁通过轴承与壳体的顶部转动相连,所述圆杆的底部固接有第一齿轮,所述第一齿轮的一侧啮合相连有第二齿轮,所述第二齿轮的内壁固接有双头螺柱,所述双头螺柱的外壁两侧均通过轴承转动相连有与壳体的内壁顶部两侧相固接的竖板,所述双头螺柱的外壁两侧均螺纹相连有与壳体的内壁顶部两侧相贴合的方块。本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,通过圆杆、第一齿轮和第二齿轮之间的配合,实现了对承载部之间距离的调节,解决了现有装置两个相对应的承载部的位置是对应的,不能对不同尺寸的产品进行冷却操作,存在局限性。