一种PECVD承载盘腔体内置传动装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103016657A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103016657A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201110282587.6(22)申请日2011.09.22(71)申请人吉富新能源科技(上海)有限公司地址201707上海市青浦区北青公路8228号三区A1栋(72)发明人周文彬刘幼海刘吉人(51)Int.Cl.F16H7/06(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图11页(54)发明名称一种PECVD承载盘腔体内置传动装置(57)摘要本发明系提供一种PECVD承载盘腔体内置传动装置，通过连轴器及连杆传动，带动两侧传动装置，主要动力来源为腔壁外侧伺服马达，传动装置由链条带动，使动力能往其他滚轮传递，不再需要额外的动力来源，完全依靠腔壁外侧伺服马达即可，同时传动装置设有外罩，可防止外部污染源进入传动装置，影响其动作，本发明结构简单，安装容易，对于后续的维修保养时间也可以大幅缩减，同时可减少设置磁流体密封轴使用数量，大幅减少设备投入成本。CN103657ACN103016657A权利要求书1/1页1.一种PECVD承载盘腔体内置传动装置，其特徵在于设置的传动装置以及传动链条、连轴器及传动杆。2.根据权利要求1所述之传动装置，其特徵在内部设有陪林作为滚轮主要动力来源。2CN103016657A说明书1/2页一种PECVD承载盘腔体内置传动装置技术领域[0001]本发明关于一种PECVD承载盘腔体内置传动装置，特别关于一种PECVD承载盘传动装置。背景技术[0002]当前，PECVD承载盘传动装置皆采用外置式传动装置，使用外置式传动装置时就需要采用外购磁流体密封轴进行个别滚轮单独传动，而外部磁流体密封轴以皮带或连条连接进行传动同步，此举不仅增加腔体机械加工时需开孔的数量，同时于组装时亦需购买额外的词流体密封轴极刑传动的连接，此结构复杂，外购单价高，通常一整条PECVD产线需要40~50具磁流体轴密封传动轴，如此一来建置成本相对增加，且磁流体密封传动轴会有退磁的风险，届时需要全部更新，对后续的维护保养上也增加相当大的成本。发明内容[0003]本发明在于提供一种PECVD承载盘腔体内置传动装置，节省建置成本，同时后续保养为后也相当简单。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种PECVD承载盘腔体内置传动装置，其包括一腔壁，伺服马达，连轴器、承载盘滚轮、传动固定座以及传动链条组成，伺服马达与腔壁进行密封，使真空不致外泄，当伺服马达转动时带动连轴器旋转，同时带动传动杆进行另一侧传动装置的旋转，且承载盘滚轮也一并同时旋转，而承载盘滚论之间的传动轴由传动链条进行动力的传递，如此所有内至承载盘滚轮皆可转动进而带动承载盘不断向前移动，达到内置传动装置的目的。[0004]本发明有益效果为：1.本发明连轴器及连轴杆进行动力的传递，结构简单，不需要安装市售磁流体密封轴。2.本发明利用内置传动链条进行承载盘滚轮之间的动力传动，后续不需要维护保养，节省保养成本。具体实施方式[0005]下面结合附图对本发明做进一步说明，请参阅图1所示，一种PECVD承载盘腔体内置传动装置，其包括腔壁1，伺服马达2，连轴器3、承载盘滚轮4、传动固定座5以及传动链条6组成。伺服马达4与腔壁1进行密封，使真空不致外泄，当伺服马达4转动时带动连轴器3旋转，同时带动传动杆进行另一侧传动装置的旋转，且承载盘滚轮4也一并同时旋转，而承载盘滚轮4之间的传动轴由传动链条6进行动力的传递，如此所有内至承载盘滚轮4皆可转动进而带动承载盘不断向前移动，达到内置传动装置的目的。[0006]综上所述，本发明在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合发明专之申请要件，惟上详细说明系针对本发明之一可实施之具体说明，该实施并非用以限制本发明之3CN103016657A说明书2/2页专范围，而凡未脱离本发明技艺精神所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。图1系为本发明之一种PECVD承载盘腔体内置传动装置示意图。主要元件符号说明:1．．．腔壁2．．．伺服马达3．．．连轴器4．．．承载盘滚轮5．．．传动装置固定座．．．传动链条。4CN103016657A说明书附图1/1页图15