图案形成装置以及图案形成方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103628103103628103A(43)申请公布日2014.03.12(21)申请号201310361890.4(22)申请日2013.08.19(30)优先权数据2012-1832612012.08.22JP(71)申请人株式会社捷太格特地址日本大阪府(72)发明人博伊科·斯托伊梅诺夫山川和芳铃木雅裕松尾和昭(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人李洋苏琳琳(51)Int.Cl.C25D5/02(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书5页说明书5页附图6页附图6页(54)发明名称图案形成装置以及图案形成方法(57)摘要本发明的图案形成装置具备多个罐和电源装置。罐具有与形成有不同种类的皮膜的多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端，并在使这些开口端抵接于工件的表面W的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液。电源装置向作为第一电极的工件与多个罐内的第二电极的每一电极之间施加规定的电压。CN103628103ACN103628ACN103628103A权利要求书1/1页1.一种图案形成装置，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜来获得规定的皮膜图案，所述图案形成装置的特征在于，具备：多个罐，它们具有与形成不同种类的皮膜的所述多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端，并在使该开口端抵接于所述表面的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液；和电源装置，其向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加规定电压。2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，所述电源装置同时向所述第一电极与所述多个罐内的各个所述第二电极之间施加电压。3.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，还具备密封部，所述密封部防止所述罐内的电沉积液在使该罐的开口端抵接于所述工件的表面的状态下从该工件的表面与该开口端之间泄漏。4.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，还具备密封部，所述密封部防止所述罐内的电沉积液在使该罐的开口端抵接于所述工件的表面的状态下从该工件的表面与该开口端之间泄漏。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的图案形成装置，其特征在于，所述多个罐的内壁面的至少一部分为所述第二电极。6.一种图案形成方法，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过些皮膜来获得规定的皮膜图案，所述图案形成方法的特征在于，包括：使多个罐抵接于所述工件的表面中形成不同种类的皮膜的多个区域的步骤，所述多个罐具有与这些多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端；和在这些罐中分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液，并向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加电压。2CN103628103A说明书1/5页图案形成装置以及图案形成方法技术领域[0001]本申请引用2012年8月22日提交的日本专利申请2012-183261所公开的说明书、权利要求书、附图和摘要的全部内容。[0002]本发明涉及利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并利用这些皮膜在工件的表面获得规定皮膜图案的图案形成装置以及图案形成方法。背景技术[0003]例如，为了减小金属制工件表面的摩擦阻力，有时在其表面形成树脂皮膜。作为用于形成这样的皮膜的方法公知一种电沉积。即，如图7所示，通过在蓄有包含树脂成分的电沉积液（电解液）90的水槽91内配置工件92和对置电极93，并通过向它们施加直流电压，能够使包含在电沉积液90中的树脂成分附着于工件92的表面，形成树脂皮膜。此外，作为利用电沉积在工件的表面形成皮膜的装置，例如已知特开2000－256895号公报（参照图1）所记载的装置。[0004]另外，如图8所示，在利用电沉积在工件95的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并利用这些皮膜形成规定的皮膜图案的情况下，如下所述，以往使用掩模。此外，在图8中，板状的工件95的表面被划分为9个区域A1～A9。在区域A2、A4、A6以及A8形成第一皮膜。在区域A1和A9形成有与第一皮膜种类不同的第二皮膜。在区域A3和A7形成有与第一皮膜和第二皮膜种类不同的第三皮膜。在区域A5形成有与第一、第二以及第三皮膜种类不同的第四皮膜。[0005]在形成这样的皮膜图案时，首先，将工件和对置电极配置在蓄有用于形成第一皮膜的电沉积液的水槽内。此外，如图9（A）所示，该工件的表面被覆盖格子状的掩模M1。然后，通过对工件和对置电极施加直流电压，从而在未覆盖掩模M1的区域A2、A4、A6以及A8形成第一皮膜（参照图9（B））。接下来，将形成有第一皮膜的工件和对置电极配置在蓄有用于形成第二皮膜的电沉积液的水槽内。