图案形成装置、图案形成方法以及装置制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102472977A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102472977A(43)申请公布日2012.05.23(21)申请号201080031672.9(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限(22)申请日2010.07.16公司11227代理人朱胜陈炜(30)优先权数据61/226,4582009.07.17US(51)Int.Cl.61/226,3302009.07.17USG03F7/20(2006.01)12/822,7732010.06.24USG03F9/00(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2012.01.13(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0624832010.07.16(87)PCT申请的公布数据WO2011/007901EN2011.01.20(71)申请人株式会社尼康地址日本东京都(72)发明人木内彻水谷英夫权利要求书权利要求书5页5页说明书说明书2929页页附图附图3030页(54)发明名称图案形成装置、图案形成方法以及装置制造方法(57)摘要通过控制装置在Z轴方向上细微地驱动暂时支持片(S)的六个辅助片支持物(SH2)和(SH3)，以使得其支持表面定位在片支持物(SH1)的支持表面的略微较低侧(-Z侧)。因此，在宽度方向(Y轴方向)和长度方向上向片(S)施加适当的张力，以使得片(S)的中心部分固定到片支持物(SH1)的支持表面。即，在XY二维张力被施加到片(S)的分开区域(SAi)的状态下，与片(S)的分开区域(SAi)对应的后表面部分根据片支持物(SH1)的支持表面的平坦形状而改变。另外，在张力在长度方向和宽度方向上被施加到预定区域的状态下，与片材料(S)的预定区域对应的后表面部分根据平坦参考表面而改变以便平坦化。另外，用能量束照射平坦化的片材料的预定区域，以在其上形成图案。CN102479ACN102472977A权利要求书1/5页1.一种图案形成装置，用于在拉长片材料的预定区域中形成预定图案，所述图案形成装置包括：张力施加装置，将二维张力施加到包括所述片材料的所述预定区域的部分；吸附装置，包括具有平坦参考表面的参考表面构件，并且使得所述参考表面吸附与施加有所述二维张力的所述片材料的所述预定区域对应的后表面部分；以及照射装置，将对应于所述图案的能量束照射到吸附到所述参考表面的所述片材料的所述预定区域。2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其中，所述张力施加装置包括多个吸附支持构件，所述多个吸附支持构件吸附所述片材料的所述预定区域外的后表面部分，以及其中，所述多个吸附支持构件设置在所述参考表面构件的外围中，以沿平行于所述参考表面构件的二维平面相对能够移动。3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其中，所述多个吸附支持构件包括至少一对第一吸附支持构件，所述至少一对第一吸附支持构件中的至少一个设置在跨越台架的所述参考表面构件、与垂直于第一轴的第二轴平行的方向上的一侧和另一侧中的各侧上，并在平行于至少所述第二轴的方向上能够移动，所述第一轴与长度方向平行。4.根据权利要求3所述的图案形成装置，其中，所述张力施加装置包括驱动系统，所述驱动系统单独地驱动所述多个吸附支持构件的一部分，所述多个吸收支持构件的一部分包括所述多个吸附支持构件当中的至少所述一对第一吸附支持构件，以及其中，所述驱动系统包括针对所述多个吸附支持构件的一部分中的每个设置的并行链接和驱动所述并行链接的驱动装置。5.根据权利要求2至4中任一项所述的图案形成装置，还包括：改变装置，在与所述二维平面垂直的方向上驱动所述多个吸附支持构件和所述参考表面构件中的至少一个，以能够改变在与所述二维平面垂直的方向上、所述多个吸附支持构件与所述参考表面构件之间的相对位置。6.根据权利要求5所述的图案形成装置，其中，所述改变装置通过使得所述参考表面构件与对应于所述片材料的所述预定区域的所述后表面部分接触来改变所述相对位置，其中所述预定区域外的相应后表面部分由所述多个吸附支持构件支持。7.根据权利要求1至6中任一项所述的图案形成装置，还包括：片运输装置，包括至少两个驱动辊并且在长度方向上运输所述片材料，所述至少两个驱动辊被设置成在所述片材料的长度方向上远离彼此并且在与所述片材料接触的同时旋转，其中，所述张力施加装置通过在所述片材料的运输期间停止位于所述片材料的运输方向的下游侧的驱动辊的旋转，在长度方向上向所述片材料施加张力。8.根据权利要求7所述的图案形成装置，还包括：夹持装置，通过在使用所述驱动辊运输所述片材料期间，使用一对夹持构件夹住所述2CN102472977A权利要求书2/5页片材料，暂时停止所述片材料的运输。9.根据权利要求8所述的图案形成装置，其中，所述夹持装置夹住所