衬底-产品衬底-组合以及用于制造衬底-产品衬底-组合的设备和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104662652A(43)申请公布日2015.05.27(21)申请号201280073963.3(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001(22)申请日2012.06.12代理人朱君刘春元(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.12.12(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据H01L21/68(2006.01)PCT/EP2012/0611172012.06.12(87)PCT国际申请的公布数据WO2013/185804DE2013.12.19(71)申请人埃里希·塔尔纳地址奥地利圣弗罗里安(72)发明人埃里希·塔尔纳权利要求书2页说明书10页附图4页(54)发明名称衬底-产品衬底-组合以及用于制造衬底-产品衬底-组合的设备和方法(57)摘要本发明涉及一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的方法，其中，所述衬底(2，2′)在接触时具有比所述载体衬底(5，5′)的平均直径d2更大的平均直径d1。此外，本发明还涉及一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的衬底(2，2′)，其中，所述衬底(2，2′)具有直径d1，该直径在背面减薄时可通过所述衬底(2，2′)的横截面的形状在其周缘轮廓(2u)上减小。另外，本发明还涉及一种相对应的设备和一种用于将具有平均直径d1的平面衬底(2)用于与具有平均直径d2的载体衬底(5)进行对准和接触以便对所述平面衬底(2)进行再加工的用法，其中，平均直径d1大于平均直径d2。CN104662652ACN104662652A权利要求书1/2页1.一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的方法，其中，所述衬底(2，2′)在接触时具有比所述载体衬底(5，5′)的平均直径d2更大的平均直径d1。2.根据权利要求1所述的方法，在其中，所述衬底(2，2′)在所述接触后被背面减薄，其中，直径d1通过所述衬底(2，2′)的横截面的形状在其周缘轮廓(2u)上减小，尤其是减小至d1≤d2。3.根据权利要求1或2所述的方法，在其中，所述衬底(2，2′)具有尤其是通过设置边缘半径和/或通过所述周缘轮廓(2u)的向后磨削所产生的环状凸肩(2a，2a′)。4.根据上述权利要求中任一项所述的方法，在其中，所述凸肩(2a，2a′)的环状宽度dR大于或等于d1和d2的差。5.根据权利要求3或4中任一项的方法，在其中，在所述背面减薄时，所述衬底(2，2′)的厚度D1被一直减小至所述凸肩(2a，2a′)或超出所述凸肩(2a，2a′)。6.一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的衬底(2，2′)，其中，所述衬底(2，2′)具有直径d1，该直径在背面减薄时可通过所述衬底(2，2′)的横截面的形状在其周缘轮廓(2u)上减小。7.根据权利要求6所述的衬底，在其中，所述衬底(2，2′)具有尤其是通过设置边缘半径和/或通过所述周缘轮廓(2u)的向后磨削所产生的环状凸肩(2a，2a′)。8.一种将具有平均直径d1的平面衬底(2)用于与具有平均直径d2的载体衬底(5)对准和接触以便对所述平面衬底(2)进行再加工的用法，其中，平均直径d1大于平均直径d2。9.根据权利要求8的用法，在其中，直径d2小500μm，尤其是小400μm，优选小300μm，再优选小200μm，更优选小100μm。10.一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的设备，其中，所述衬底(2，2′)在接触时具有比所述载体衬底(5，5′)的平均直径d2更大的平均直径d1，所述设备具有以下特征：-用于固定所述衬底(2，2′)的衬底容纳部(1)；-用于固定所述载体衬底(5，5′)的载体衬底容纳部(4)；-用于相对于所述衬底(2，2′)与所述载体衬底(5，5′)的接触平面至少分段地检测被固定在所述衬底容纳部(1)上的衬底(2，2′)的周缘轮廓(2u)以及至少分段地检测被固定在所述载体衬底容纳部(4)上的载体衬底(5，5′)的周缘轮廓(5u)的检测装置(11，13)；-用于使得所述衬底(2，2′)相对于所述载体衬底(5，5′)对准的对准装置(6，8)，其中，所述对准装置(6，8)是通过控制装置基于由所述