玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置.pdf
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玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置.pdf
本发明涉及一种玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底制造装置。本发明能够抑制形成熔融玻璃的流路的管的变形、弯曲、破损等。在本发明的玻璃衬底的制造方法中,为了形成熔解炉的端部和成形装置之间的熔融玻璃的流路,熔融玻璃处理装置是通过使多根管在管之间及和熔解炉的端部之间被连接而构成的。第1管包含:管主体;及法兰状的电极,其向管主体外突出,对管主体进行通电加热。法兰状的电极以被管主体和连接于第1管的第2管夹持的方式设置在管主体的端。法兰状的电极至少在被管主体和第2管夹持的部分具有沿着流路的延伸方向鼓出的凸部及凹陷的凹部相邻
制造用于信息记录介质的玻璃衬底的方法.pdf
本发明提供了一种制造用于信息记录介质的玻璃衬底的方法,包括以下步骤:使用太阳-行星齿轮型抛光机一次抛光若干玻璃衬底的抛光;选择性地确定抛光板的至少两个不同的环形区域并且控制抛光机的所确定的环形区域的温度变化以抑制并且控制玻璃衬底的厚度变化。当抛光板的不同区域上的温度差距低时可以抑制和控制厚度变化。本发明的目的还在于确定抛光机的抛光板的至少两个不同的环形区域的温度变化不高于2℃。通过根据本发明的这样的方法,抛光板的不同环形区域上的玻璃衬底的表面能够被抛光以具有低的厚度变化。
玻璃制造装置及玻璃制造方法.pdf
本发明提供一种不受外部气体温度的影响而能够以高精度对壳体的下端面的温度进行温度管理的玻璃制造装置及玻璃制造方法。在具有对熔融玻璃的成形装置的作为轮廓的壳体进行冷却的冷却单元的玻璃制造装置中,冷却单元具有:冷却室,作为减压密闭空间而设置在壳体的外侧;喷射单元,向冷却室内的壳体的外周面喷射冷却流体;及吸引单元,对冷却室内进行吸引,利用冷却流体的蒸发潜热而使壳体气化冷却。
SiC衬底的制造方法及其制造装置.pdf
本发明要解决的问题是提供一种制造基底衬底层较薄的SiC衬底并可抑制其变形或破损的SiC衬底的制造方法及其制造装置。本发明的特征在于包括:主体容器(20),能够收纳SiC基底衬底(10),并且通过加热在内部空间中产生包含Si元素的气相物种和包含C元素的气相物种的蒸气压;以及加热炉(30),收纳所述主体容器(20),并进行加热以使得在内部空间中产生包含Si元素的气相物种的蒸气压和形成温度梯度。其中,所述主体容器(20)具有在所述SiC基底衬底(10)的一面形成生长层(11)的生长空间(S1)和对所述SiC基底
SiC衬底的制造方法及其制造装置和减少SiC衬底的加工变质层的方法.pdf
本发明解决的问题是提供一种减少了加工变质层的SiC衬底的制造方法及其制造装置。此外,本发明解决的问题是提供一种去除了加工变质层的SiC衬底的制造方法及其制造装置。本发明的特征在于包括:主体容器(20),能够收纳SiC衬底(10),并且通过加热在内部空间中产生包含Si元素的气相物种和包含C元素的气相物种的蒸气压;以及加热炉(30),收纳所述主体容器(20),并且加热所述主体容器(20),使得在内部空间中产生包含Si元素的气相物种的蒸气压并且形成温度梯度,其中,所述主体容器(20)具有蚀刻空间(S1),所述蚀