一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106399928A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201611012247.0(22)申请日2016.11.17(71)申请人陈建栋地址312000浙江省绍兴市新昌县沙溪镇董村上董16号(72)发明人陈建栋(74)专利代理机构北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548代理人李静(51)Int.Cl.C23C14/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置(57)摘要本发明公开了一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，包括真空箱、电子气压表、温度表、冷却仓、固定传送轮、冷却装置、靶极、烘干仓、数控装置、传动轴、传动链带、底座、定滑轮、放卷装置、收卷装置和载物支架，所述真空箱左侧设置有电子气压表和温度表，所述真空箱上方安装有冷却仓，所述冷却仓上方设置有固定传动轮，所述真空箱右侧安装有烘干仓，所述烘干仓右侧设置有数控装置，所述烘干仓右侧安装有传动轴，所述传动轴与传动链带连接，所述真空箱和烘干仓固定在底座上。本设备可以实现对卷状基片进行镀膜，也可以对单独零件进行镀膜，极大的提高了设备的效率，减少了为实现对不同类型器件镀膜而购买多种设备所消耗的资金。CN106399928ACN106399928A权利要求书1/1页1.一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，包括真空箱(1)、电子气压表(2)、温度表(3)、冷却仓(4)、固定传送轮(5)、冷却装置(6)、靶极(7)、烘干仓(8)、数控装置(9)、传动轴(10)、传动链带(11)、底座(12)、定滑轮(13)、放卷装置(14)、收卷装置(15)和载物支架(16)，其特征在于：所述真空箱(1)左侧设置有电子气压表(2)和温度表(3)，所述真空箱(1)上方安装有冷却仓(4)，所述冷却仓(4)上方设置有固定传动轮(5)，所述真空箱(1)右侧安装有烘干仓(8)，所述烘干仓(8)右侧设置有数控装置(9)，且烘干仓(8)右侧安装有传动轴(10)，所述传动轴(10)与传动链带(11)连接，所述真空箱(1)和烘干仓(8)固定在底座(12)上，所述底座(12)左上侧安装有定滑轮(13)，且底座(12)左上侧固定有放卷装置(14)和收卷装置(15)，所述传动链带(11)上设置有载物支架(16)。2.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，其特征在于：所述固定传送轮(5)通过弹簧固定。3.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，其特征在于：所述靶极(7)可以多向旋转。4.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，其特征在于：所述真空箱(1)竖直设置。5.根据权利要求1所述的一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，其特征在于：所述数控装置(9)通过电路与电子气压表(2)和温度表(3)相连接。2CN106399928A说明书1/2页一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及双面镀膜技术领域，具体为一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置。背景技术[0002]镀膜工业在进行镀膜处理时，通常根据不同的基片器件，采用不同的方法与设备进行，这样虽然对于需要进行单一类型基片器件进行镀膜处理的厂家来说较为有利，但对于需要进行多种类型的基片器件镀膜处理的厂家来说，就需要购买多种设备才能满足要求，这无疑增加了加工成本，还增加了设备的占地面积，降低了生产的效益。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。[0004]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案一种多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，包括真空箱、电子气压表、温度表、冷却仓、固定传送轮、冷却装置、靶极、烘干仓、数控装置、传动轴、传动链带、底座、定滑轮、放卷装置、收卷装置和载物支架，所述真空箱左侧设置有电子气压表和温度表，所述真空箱上方安装有冷却仓，所述冷却仓上方设置有固定传动轮，所述真空箱右侧安装有烘干仓，所述烘干仓右侧设置有数控装置，所述烘干仓右侧安装有传动轴，所述传动轴与传动链带连接，所述真空箱和烘干仓固定在底座上，所述底座左上侧安装有定滑轮，且底座左上侧固定有放卷装置和收卷装置，所述传动链带上设置有载物支架。[0005]优选的，所述固定传送轮通过弹簧固定。[0006]优选的，所述靶极可以多向旋转。[0007]优选的，所述真空箱竖直设置。[0008]优选的，所述数控装置通过电路与电子气压表和温度表相连接。[0009]与现有技术相比，本发明的有益效果是：该多用途的性能稳定的全自动双面镀膜装置，可以实现对多种基片器件进行镀膜，实现了设备的