一种稳定镀膜的载片装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109082649A(43)申请公布日2018.12.25(21)申请号201811039777.3(22)申请日2018.09.06(71)申请人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司地址518000广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋(72)发明人杨宝立余仲张勇伍波(74)专利代理机构深圳市康弘知识产权代理有限公司44247代理人尹彦胡朝阳(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)C23C16/513(2006.01)H01L21/673(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图6页(54)发明名称一种稳定镀膜的载片装置(57)摘要本发明公开了一种用于硅片的表面镀减反射膜的稳定镀膜的载片装置，其包括：石英托架，设于该石英托架中的石墨舟片组件，该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。本发明使得石墨组件的石墨舟片垂直于石英托架的轴线设置。当该载片装置送入石英炉管时，石墨舟片与石英炉管的轴线垂直，有效地避免了左右两侧石墨舟片对加热炉管热量向中心辐射的阻挡，从而保证处于石墨舟片之间的硅片减反射膜镀膜均匀和工艺的稳定性，以提升PECVD反应炉的产能。CN109082649ACN109082649A权利要求书1/1页1.一种稳定镀膜的载片装置，其特征在于，包括石英托架，设于该石英托架中的石墨舟片组件，该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。2.如权利要求1所述的载片装置，其特征在于，所述的石英托架包括两侧板、连接该两侧板上部的两根上槽棒，连接该两侧板下部的至少一根下槽棒，所述的上槽棒分别设于所述两侧板的横向两侧，所述侧板的下侧边设有对应卡入所述石墨舟片组件的卡槽。3.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述下槽棒的上表面设有支撑所述石墨舟片底边的下槽棒齿槽。4.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述上槽棒的内表面设有支撑所述石墨舟片两侧边的上槽棒齿槽。5.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述侧板的外侧面还设有把手。6.如权利要求2~5所述的载片装置，其特征在于，所述的石墨舟片组件由正、负极石墨舟片间隔排列，并通过陶瓷杆将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接成具有间隙的排列；通过将正极石墨舟片、负极石墨舟片分别电性连接的陶瓷杆引出正极舟脚、负极舟脚，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述的正极舟脚、负极舟脚。7.如权利要求6所述的载片装置，其特征在于，所述石墨舟片组件上部两侧各有一根陶瓷杆和石墨舟片组件下部设有两根陶瓷杆将所述的正极石墨舟片、负极石墨舟片分别间隔串接起来。8.如权利要求7所述的载片装置，其特征在于，所述的石墨舟片组件下部的一侧的两根陶瓷杆端引出所述的正极舟脚，其连通套在上方两根陶瓷杆上的导电套将所述的正极石墨舟片电性连接起来；所述的石墨舟片组件下部的另一侧的两根陶瓷杆端引出所述的负极舟脚，其连通套在下方两根陶瓷杆上的导电套将所述的负极石墨舟片电性连接起来。9.如权利要求8所述的载片装置，其特征在于，所述的正、负极舟脚为固定连接于所述陶瓷杆端上的U形块，所述石英托架侧板的下侧边的卡槽对应卡入所述U形块凹下的沟槽中。10.如权利要求2所述的载片装置，其特征在于，所述正、负极石墨舟片的表面设有多个硅片卡点。2CN109082649A说明书1/3页一种稳定镀膜的载片装置技术领域[0001]本发明涉及光伏行业硅片加工领域，尤其涉及一种将太阳能硅片送入石英炉管进行表面镀减反射膜的载片装置。背景技术[0002]在光伏行业，PECVD用于对单晶硅片、多晶硅片的表面镀减反射膜。随着光伏行业的不断发展，太阳能电池片生产已经进入精细化管理，客户对制造太阳能电池片设备的产能、减反射膜均匀性、制作工艺的稳定性要求越来越高。石墨舟是硅片的载具，其结构对设备的产能及工艺的稳定性起到至关重要的作用。如图2所示为原有石墨舟载硅片的结构示意图，图1所示为载有硅片的石墨舟放置于石英炉管的中的示意图。当石墨舟01送入与石英炉管04中时，石墨舟中的石墨舟片02和硅片03平面正好与石英炉管04截面的纵轴平行，而加热炉管的加热是由炉管外圆径向向中心辐射的，由图2可见，石墨舟01左右两侧的石墨舟片02阻挡了加热炉管的热量向中心辐射。随着产能的增加，装载在石墨舟两侧的硅片03与中心、炉口及炉尾位置的硅片03减反射膜镀膜均匀性变差，这也就限制了制作减反射膜的工艺窗口，最后导致工艺稳定性差。传统的PECVD反应炉石墨舟片排列方式限制了设备未来继续提升产能的空间。[0003]因此，如何克服现有加热石英炉管的热量辐射受阻，以致石墨舟中的硅片减反射膜镀膜不均匀的缺陷是业界亟待解决的问题。发明内容[0