自动化单晶硅片倒角装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106425744A(43)申请公布日2017.02.22(21)申请号201610892031.1(22)申请日2016.10.13(71)申请人成都格瑞思文化传播有限公司地址610000四川省成都市锦江区锦华路一段8号1栋11单元23层2336号(72)发明人曾玥(51)Int.Cl.B24B9/06(2006.01)B24B27/00(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B49/00(2012.01)B24B55/00(2006.01)B24B47/12(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称自动化单晶硅片倒角装置(57)摘要本发明涉及一种自动化单晶硅片倒角装置，其中包括工作台、旋转底座、旋转驱动电机和砂轮倒角组件，工作台上设置有数个工位，各个工位设置有一夹紧组件，工作台设置于旋转底座上方，旋转驱动电机与旋转底座相连接，各个夹紧组件包括两个夹紧杆和与夹紧杆一一对应的两个弹簧，弹簧一端连接至所对应的夹紧杆，弹簧的另一端连接至所对应的夹紧杆的外侧的工作台上，且弹簧的另一端设置有拉力传感器，拉力传感器与旋转驱动电机相连接，砂轮倒角组件相对于工作台可前后移动，采用该种装置，通过设置旋转底座、工作台以及上面的多个工位，一次上件可以设置多个单晶硅片，从而实现一次装件对多个工件进行加工，减少了工作人员的操作步骤。CN106425744ACN106425744A权利要求书1/1页1.一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的装置包括工作台、旋转底座、旋转驱动电机和砂轮倒角组件，所述的工作台上设置有数个工位，各个工位设置有一夹紧组件，所述的工作台设置于所述的旋转底座上方，所述的旋转驱动电机与所述的旋转底座相连接，各个所述的夹紧组件包括两个夹紧杆和与夹紧杆一一对应的两个弹簧，所述的弹簧一端连接至所对应的夹紧杆，所述的弹簧的另一端连接至所对应的夹紧杆的外侧的工作台上，且所述的弹簧的另一端设置有拉力传感器，所述的拉力传感器与所述的旋转驱动电机相连接，所述的砂轮倒角组件相对于工作台可前后移动。2.根据权利要求1所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的夹紧杆的内侧面设置有橡胶条。3.根据权利要求1所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的工作台上设置有四个工位。4.根据权利要求1所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的砂轮倒角组件包括砂轮、砂轮驱动电机，所述的砂轮由所述的砂轮驱动电机驱动旋转。5.根据权利要求4所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的砂轮倒角组件还包括支架，所述的砂轮和砂轮驱动电机均设置于所述的支架上，且所述的支架相对于所述的工作台可前后移动。6.根据权利要求5所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的工作台和旋转底座设置于一机架中，所述的砂轮倒角组件还包括一设置于所述的机架上的滑轨，所述的支架通过滚轮设置于所述的滑轨上，所述的支架由一移动驱动电机驱动在所述的滑轨上移动。7.根据权利要求1所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，各个所述的夹紧组件的底部设置有一重力传感器，所述的重力传感器连接至所述的旋转驱动电机。8.根据权利要求7所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的工作台和旋转底座设置于一机架中，所述的机架上设置有报警器，所述的报警器同时与所述的重力传感器和拉力传感器相连接。9.根据权利要求1所述的自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于，所述的工作台和旋转底座设置于一机架中，所述的机架上还设置有启动按钮，所述的启动按钮与所述的旋转驱动电机相连接。2CN106425744A说明书1/3页自动化单晶硅片倒角装置技术领域[0001]本发明涉及单晶硅技术领域，尤其涉及单晶硅制造技术领域，具体是指一种单晶硅片倒角装置。背景技术[0002]单晶硅片作为一种很好的导电材料，可以广泛地应用在半导体、太阳能电池等技术领域。单晶硅片的加工工艺后期一般需要进行倒角、研磨、腐蚀、抛光和清洗等步骤，其中倒角指将切割成的晶片锐利边修整成圆弧形，防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生，因此是非常重要的一个工艺步骤。[0003]然而现有技术中的单晶硅片倒角机，操作起来比较复杂，一次一般只能加工一个工件，需要频繁地装夹工件，加工效率很低；另外，加工过程中无法实现一个加工效果的观测，加工前刀具定位的效果也不能令人满意，导致单晶硅片的倒角处理往往不能达到期望的精度。发明内容[0004]本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种能够实现根据拉力传感器检测到工位处有单晶硅的放置、从而自动驱动旋转底座旋转、可以一次加工多个产品、具有更广泛应用范围的自动化单晶硅片倒角装置。[0005]为了实现上述目的，本