一种硅片倒角装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108857782A(43)申请公布日2018.11.23(21)申请号201810675784.6B24B47/12(2006.01)(22)申请日2018.06.27(71)申请人郑州极致科技有限公司地址450000河南省郑州市高新技术产业开发区冬青街26号电子商务产业园9号楼803室(72)发明人张新卫郭小波(74)专利代理机构成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230代理人谢建吴静宜(51)Int.Cl.B24B27/00(2006.01)B24B9/06(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B41/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种硅片倒角装置(57)摘要本发明公开了一种硅片倒角装置，属于倒角设备技术领域，其目的在于提供一种可针对硅片任意边缘部位范围进行倒角的倒角装置。本发明包括安装架，安装架上设置有砂轮，砂轮的侧下方设有固定台，安装架上还设置有转轴，转轴与固定台相连，转轴上还套设有齿轮；安装架上还通过第一电机连接有转动杆，转动杆外套设有横移杆，横移杆两侧还设置有限位块，限位块固定在安装架上，横移杆内部开设有空腔，转动杆在所述空腔内转动并可带动横移杆沿一定直线方向往复移动；横移杆对应所述齿轮处还设置有齿，横移杆的齿与齿轮的齿啮合设置。通过往复移动的横移杆带动转轴变向往复转动，实现了对硅片某一位置范围的单独倒角作用，整体结构新颖且实用。CN108857782ACN108857782A权利要求书1/1页1.一种硅片倒角装置，包括安装架(1)，安装架(1)上设置有第二电机(12)，第二电机(12)的第二输出轴(11)连接有砂轮(10)，砂轮(10)的侧下方设置有固定台(9)，其特征在于：还设置有转轴(8)，转轴(8)一端与固定台(9)相连，转轴(8)另一端通过轴承安装在安装架(1)上，转轴(8)上还套设有齿轮；安装架(1)上还设置有置放台(2)、第一电机(3)，第一电机(3)的第一输出轴(4)的输出端连接有转动杆(5)，转动杆(5)外套设有横移杆(6)，横移杆(6)放置在置放台(2)上并可任意滑动，横移杆(6)两侧还设置有限位块(7)，限位块(7)固定在置放台(2)上，横移杆(6)内部开设有空腔，转动杆(5)在所述空腔内转动并可带动横移杆(6)沿一定直线方向往复移动；横移杆(6)对应所述齿轮处还设置有齿，横移杆(6)的齿与齿轮的齿啮合设置。2.如权利要求1所述的一种硅片倒角装置，其特征在于：横移杆(6)包括依次连接的第一连杆(61)、连接块(62)，第二连杆(63)，第一连杆(61)对应齿轮位置一侧设置有齿，连接块(62)中部开设有空腔；限位块(7)设置有四个，两个限位块(7)设置在第一连杆(61)的两侧，另外两个限位块(7)设置在第二连杆(63)两侧，四个限位块(7)呈长方形分布。3.如权利要求2所述的一种硅片倒角装置，其特征在于：限位块(7)为滑轮，限位块(7)的中心固定在置放台(2)上。4.如权利要求1所述的一种硅片倒角装置，其特征在于：横移杆(6)的空腔为长方形空腔，长方形空腔的中心与第一输出轴(4)的轴心重合，转动杆(5)远离第一输出轴(4)轴心的端部直径长度与长方形空腔的宽边长度相等。2CN108857782A说明书1/3页一种硅片倒角装置技术领域[0001]本发明属于倒角设备技术领域，具体涉及一种硅片倒角装置。背景技术[0002]硅片是电子信息技术中非常重要的物质基础，随着社会的不断发展，人们对于硅片的数量需求逐渐加大，对于硅片的形状要求也更加多样化。而在硅片的生产加工过程中，倒角是其中一个非常重要的步骤，现有技术中对于硅片倒角一般只能将硅片的每个角打磨一致，而不能针对具体的某一个角进行打磨，这样便难以满足人们对于硅片的多样化需求。[0003]申请号为CN201620669480.5的专利公开了一种新型高效硅片倒角机。当前，企业在对硅片进行倒角时采用的倒角机均不能一次同时加工两块硅片，当企业需要大批量生产时，这种倒角机效率明显偏低，难以满足企业自身生产需要，存在不足。本发明涉及一种新型高效硅片倒角机，其中：第三电机与第二蜗杆同轴连接，第二蜗杆与第二蜗轮啮合连接，第二蜗轮通过第二转轴与第二固定块固定连接，机体与第一电机固定连接，第一电机与主动带轮同轴连接，主动带轮通过传动带与从动带轮连接，从动带轮通过传动轴与砂轮固定连接。本装置采用一次同时加工两块硅片的方式，比传统的效率提高一倍，能够满足企业自身生产需要，有利于提高企业经济效益。[0004]该发明在进行倒角过程中，硅片持续转动并与砂轮接触进行打磨，硅片持续进行绕圈旋转使得硅片每一个角都与砂轮接触，因此该专利难以针对硅片某一