掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106933025A(43)申请公布日2017.07.07(21)申请号201710326143.5(22)申请日2017.05.10(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人崔家宾王丽李志宾梁鹏飞刘畅陈鹏(74)专利代理机构北京风雅颂专利代理有限公司11403代理人李莎李弘(51)Int.Cl.G03F1/44(2012.01)G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书15页附图6页(54)发明名称掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法(57)摘要本发明公开了一种掩膜版，包括对位标记测试窗口和间距测量测试窗口，所述掩膜版上还设置有第一检测标记和/或第二检测标记；所述第一检测标记，与所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的靠近掩膜版内部的边框齐平；所述第二检测标记，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述对位标记测试窗口之间，和/或，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓间距测量测试窗口之间。本发明还公开了一种掩膜版组件、曝光机和采用所述掩膜版检测测试窗口遮挡效果的方法。本发明提出的掩膜版及其组件、曝光机和检测测试窗口遮挡效果的方法，能够用于监控测试窗口的遮挡不良问题。CN106933025ACN106933025A权利要求书1/2页1.一种掩膜版，包括对位标记测试窗口和间距测量测试窗口，其特征在于，所述掩膜版上还设置有第一检测标记和/或第二检测标记；所述第一检测标记，与所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的靠近掩膜版内部的边框齐平；所述第二检测标记，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述对位标记测试窗口之间，和/或，设置在所述掩膜版的透光区整体轮廓与所述间距测量测试窗口之间。2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一检测标记设置在所述对位标记测试窗口和/或间距测量测试窗口的一侧。3.根据权利要求1或2所述的掩膜版，其特征在于，所述第一检测标记包括第一子标记和第二子标记；所述第一子标记设置在所述对位标记测试窗口的一侧；所述第二子标记设置在所述间距测量测试窗口的一侧。4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二检测标记的整体呈条状且长度大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离。5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二检测标记的整体呈条状且长度大于所述掩膜版的透光区整体轮廓的长度。6.根据权利要求4或5所述的掩膜版，其特征在于，所述第二检测标记的宽度小于所述掩膜版的透光区整体轮廓朝向所述对位标记测试窗口的边缘与所述对位标记测试窗口朝向所述掩膜版的透光区整体轮廓的边缘之间的距离，和/或，所述第二检测标记的宽度小于所述掩膜版的透光区整体轮廓的朝向所述间距测量测试窗口的边缘与所述间距测量测试窗口朝向所述掩膜版的透光区整体轮廓的边缘之间的距离。7.一种掩膜版组件，其特征在于，包括多个如权利要求1-6任一项所述的掩膜版；所述第一检测标记包括第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记；所述第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记分别设置在所述掩膜版组件的不同的掩膜版上；且所述第一红色检测标记、第一绿色检测标记、第一蓝色检测标记和第一隔垫物检测标记在各自掩膜版上所处位置各不相同；和/或，所述第二检测标记包括第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记；所述第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记分别设置在所述掩膜版组件的不同的掩膜版上，且所述第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记在各自掩膜版上所处位置各不相同。8.根据权利要求7所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第二红色检测标记、第二绿色检测标记、第二蓝色检测标记和第二隔垫物检测标记的数量均为多个；多个所述第二红色检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二红色检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离；多个所述第二绿色检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二绿色检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离；2CN106933025A权利要求书2/2页多个所述第二蓝色检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二蓝色检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗口与间距测量测试窗口的相互远离的两个侧边之间的距离；多个所述第二隔垫物检测标记等间隔排列，且距离最远的两个第二隔垫物检测标记之间的距离大于所述对位标记测试窗