磨削磨轮以及磨削方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106985003A(43)申请公布日2017.07.28(21)申请号201610825912.1(22)申请日2016.09.14(30)优先权数据2015-1838652015.09.17JP(71)申请人株式会社迪思科地址日本东京都(72)发明人藤谷凉子中川义康(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉于靖帅(51)Int.Cl.B24B1/00(2006.01)B24B53/12(2006.01)B24B55/02(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图8页(54)发明名称磨削磨轮以及磨削方法(57)摘要提供磨削磨轮以及磨削方法，能够良好地进行树脂或金属等被加工物的薄化，并且当磨削磨具的形状恶化时，在短时间内容易地恢复磨削性能。磨削磨轮(40)包含：磨轮基台(41)，其固定在主轴上；多个磨削磨具(50)，它们固定在磨轮基台上；以及多个磨削水提供口(46)，它们对磨削磨具提供磨削水。多个磨削磨具是分段磨具，它们倾斜成从磨削磨轮朝向外侧扩展，并且多个磨削模具以规定的间隔呈环状安装在磨轮基台上，在磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上形成有多个磨削水提供口。CN106985003ACN106985003A权利要求书1/1页1.一种磨削磨轮，其对树脂基板进行磨削，其特征在于，该磨削磨轮具有：磨轮基台，其具有自由端部以及固定于主轴的固定部；多个磨削磨具，它们固定于该磨轮基台的该自由端部；以及磨削水提供口，其对该磨削磨具提供磨削水，该磨削磨具是利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合而成的分段磨具，并且形成为外周端面从该磨轮基台的该自由端部侧朝向下方倾斜成向旋转方向外侧扩展的形状，该磨削磨具在该磨轮基台的该自由端部以规定的间隔呈环状安装有多个，在该磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上的各磨削磨具的附近形成有多个磨削水提供口。2.一种磨削方法，在磨削装置中使用磨削磨轮对韧性材料基板进行磨削，该磨削装置具有：卡盘工作台，其对韧性材料基板进行保持；磨削单元，其具有主轴，该主轴将权利要求1所述的磨削磨轮保持为能够旋转，该磨削磨轮对该卡盘工作台上所保持的韧性材料基板进行磨削；磨削进给单元，其使该磨削单元和该卡盘工作台相对地在磨削进给方向上接近和远离；以及进退单元，其使该磨削单元和该卡盘工作台相对地在该卡盘工作台的径向上移动，该磨削方法的特征在于，通过如下的蠕动进给磨削而对韧性材料基板进行磨削：使旋转的该磨削磨轮相对于该卡盘工作台上所保持的韧性材料基板相对地进行水平移动。2CN106985003A说明书1/8页磨削磨轮以及磨削方法技术领域[0001]本发明涉及对树脂基板等被加工物进行磨削的磨削磨轮以及磨削方法。背景技术[0002]通常，在车刀切削装置中对树脂或金属等韧性材料实施平坦化或薄化等切削(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的车刀切削装置中，在绕着铅直轴旋转的主轴的安装座上安装有磨轮基台，在磨轮基台的外周部分的一部分上固定有金刚石刃或超硬车刀等车刀工具。并且，车刀工具绕着主轴的铅直轴旋转，由此，通过车刀工具的锐角的切削刃来削刮作为保持在卡盘工作台上的被加工物的韧性材料而使其平坦化或薄化。[0003]专利文献1：日本特开2000-173954号公报[0004]在专利文献1记载的车刀切削装置的磨削磨轮中，当加工张数不断增加时，由于车刀工具的锐角的切削刃的形状渐渐变形而使加工品质恶化，所以需要定期地进行车刀工具的形状修正。但是，对于金刚石刃或超硬车刀等车刀工具的形状修正而言，需要放电加工等特殊的加工，存在需要形状修正用的其他设备和大量的时间的问题。发明内容[0005]本发明是鉴于该点而完成的，其目的在于提供磨削磨轮以及磨削方法，能够在短时间内容易地对作为切削刃而使用的磨削磨具进行形状修正。[0006]本发明的磨削磨轮是对树脂基板进行磨削的磨削磨轮，其特征在于，该磨削磨轮具有：磨轮基台，其具有自由端部以及固定于主轴的固定部；多个磨削磨具，它们固定于该磨轮基台的该自由端部；以及磨削水提供口，其对该磨削磨具提供磨削水，该磨削磨具是利用金属粘合剂将金刚石磨粒结合而成的分段磨具，并且形成为外周端面从该磨轮基台的自由端部侧朝向下方倾斜成向旋转方向外侧扩展的形状，该磨削磨具在该磨轮基台的该自由端部以规定的间隔呈环状安装有多个，在该磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上的各磨削磨具的附近形成有多个磨削水提供口。[0007]根据该结构，多个磨削磨具的外周端面与树脂基板的正面所成的角度形成为锐角，多个磨削磨具被当作切削刃来使用。一边使磨削磨具的倾斜的外周