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磨削磨轮和磨削装置.pdf
2023-08-29
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磨削磨轮和磨削装置.pdf
提供磨削磨轮和磨削装置，通过对磨削磨具适当地传递超声波振动而对晶片进行良好地磨削。该磨削磨轮包含：第一圆环板(53)，其将对保持工作台(20)所保持的晶片(W)进行磨削的磨削磨轮(50)安装于磨削装置的安装座(45)上；筒体(55)，其从第一圆环板的外周垂下；第二圆环板(56)，其与筒体的下端连结；多个磨削磨具(52)，它们呈环状配设在第二圆环板的下表面上；环状的超声波振荡部(58)，其在第二圆环板的上表面上配设成围绕开口；以及超声波接收部(59)，其对从超声波振荡部传递至磨削磨具的超声波振动进行接收。
2023-09-01
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磨削磨轮和磨削装置.pdf
提供磨削磨轮和磨削装置，改善对于被磨削面的咬合性能。该磨削磨轮(46)为了对晶片W进行磨削而呈环状配设有多个分别由多个分段磨具(47)构成的磨具组，其中，各磨具组包含厚度不同的至少三个分段磨具(471～473)。厚度不同的三个分段磨具在依照从厚度小的分段磨具(471)至厚度大的分段磨具(473)的顺序使内周对齐的状态下呈环状配设，并且在相邻的分段磨具之间设置均等的间隙而配置。
2023-08-29
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磨削磨轮和磨削装置以及晶片的磨削方法.pdf
提供磨削磨轮和磨削装置以及晶片的磨削方法，对由难磨削材料形成的晶片或者包含金属的晶片顺畅地进行磨削。磨削磨轮(74)包含如下的部分：磨削磨具(74a)，其是使金刚石磨粒(P1)与作为光催化材料粒的氧化钛粒(P2)混合并借助树脂粘结剂(B1)固定而成的；以及轮基台(74b)，其在自由端部呈环状地配设磨削磨具(74a)。
2023-09-03
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磨削磨轮以及磨削方法.pdf
提供磨削磨轮以及磨削方法，能够良好地进行树脂或金属等被加工物的薄化，并且当磨削磨具的形状恶化时，在短时间内容易地恢复磨削性能。磨削磨轮(40)包含：磨轮基台(41)，其固定在主轴上；多个磨削磨具(50)，它们固定在磨轮基台上；以及多个磨削水提供口(46)，它们对磨削磨具提供磨削水。多个磨削磨具是分段磨具，它们倾斜成从磨削磨轮朝向外侧扩展，并且多个磨削模具以规定的间隔呈环状安装在磨轮基台上，在磨轮基台的内周壁上，与各磨削磨具对应地，在连接各磨削磨具与旋转轴心的线上形成有多个磨削水提供口。
2023-09-02
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磨削磨轮.pdf
提供磨削磨轮，能够抑制在被加工物的中心部分产生剥孔。磨削磨轮(1)具有：磨轮基台(10)，其安装在设置于旋转主轴的一端的磨轮安装座上，该旋转主轴构成对卡盘工作台所保持的被加工物(201)进行磨削的磨削单元；以及多个磨削磨具(20)，它们呈大致圆环状配设在磨轮基台(10)上。磨削磨具(20)的磨削面(22)的面积构成为从磨轮基台(10)的内周侧向外周侧逐渐减少。
2023-08-31
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