一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107829065A(43)申请公布日2018.03.23(21)申请号201711025679.X(22)申请日2017.10.27(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人白珊珊韩乔楠(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司11274代理人申健(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/12(2006.01)C23C14/24(2006.01)H01L27/32(2006.01)H01L51/52(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图5页(54)发明名称一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置(57)摘要本发明提供一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置，涉及显示技术领域，可解决开口掩膜板无法蒸镀形成内部包含镂空部分的图案块的问题。开口掩膜板，包括至少一个镂空图案组；镂空图案组包括一行间隔排布的第一镂空图案和一行间隔排布的第二镂空图案；同一镂空图案组中，开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第一镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第二镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第三镂空图案，开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行第二镂空图案与开口掩膜板未旋转时的一行第一镂空图案可拼接成一行第三镂空图案；第一镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的一部分，第二镂空图案的轮廓包含遮挡区的轮廓的另一部分。CN107829065ACN107829065A权利要求书1/1页1.一种开口掩膜板，其特征在于，包括至少一个镂空图案组；所述镂空图案组包括一行间隔排布的第一镂空图案和一行间隔排布的第二镂空图案；同一所述镂空图案组中，所述开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行所述第一镂空图案与所述开口掩膜板未旋转时的一行所述第二镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第三镂空图案，所述开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行所述第二镂空图案与所述开口掩膜板未旋转时的一行所述第一镂空图案可拼接成一行所述第三镂空图案；所述第一镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的一部分，所述第二镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的另一部分。2.根据权利要求1所述的开口掩膜板，其特征在于，所述第一镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的一半，所述第二镂空图案的轮廓包含所述遮挡区的轮廓的另一半。3.根据权利要求1所述的开口掩膜板，其特征在于，所述遮挡区的轮廓为轴对称图形；所述第一镂空图案的轮廓包含所述轴对称图形中以对称轴作为分界划分得到的一半，所述第二镂空图案的轮廓包含所述轴对称图形中以对称轴作为分界划分得到的另一半。4.根据权利要求1所述的开口掩膜板，其特征在于，还包括一行间隔排布的第四镂空图案，所述第一镂空图案、所述第二镂空图案和所述第四镂空图案的行数之和为奇数；所述第四镂空图案所在行为中间行；所述开口掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°后的一行所述第四镂空图案与所述开口掩膜板未旋转时的一行所述第四镂空图案可拼接成一行包围遮挡区的第五镂空图案。5.根据权利要求1所述的开口掩膜板，其特征在于，同一镂空图案组中的一行所述第一镂空图案与一行所述第二镂空图案呈镜像对称分布。6.根据权利要求1所述的开口掩膜板，其特征在于，所述开口掩膜板的材料包括因瓦合金。7.一种母板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：采用掩膜板在衬底上蒸镀形成多行第一图案块，所述掩膜板包括权利要求1-6任一项所述的开口掩膜板；将所述掩膜板以其厚度方向为轴旋转180°，采用旋转后的所述掩膜板在形成有所述第一图案块的衬底上蒸镀形成与多行所述第一图案块无缝拼接的多行第二图案块；其中，多行所述第一图案块和多行所述第二图案块拼成多行内部具有镂空部分的第三图案块，所述镂空部分的轮廓与权利要求1-6任一项所述的开口掩膜板的遮挡区的轮廓相同。8.一种母板，其特征在于，包括多行内部具有镂空部分的第三图案块，多行所述第三图案块由多行蒸镀形成的第一图案块和多行蒸镀形成的第二图案块拼接而成；所述第一图案块的轮廓包含所述镂空部分的轮廓的一部分，所述第二镂空图案的轮廓包含所述镂空部分的轮廓的另一部分。9.一种基板，其特征在于，包括一个内部具有镂空部分的第三图案块，所述第三图案块由一个蒸镀形成的第一图案块和一个蒸镀形成的第二图案块拼接而成；所述第一图案块的轮廓包含所述镂空部分的轮廓的一部分，所述第二镂空图案的轮廓包含所述镂空部分的轮廓的另一部分。10.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求9所述的基板。2CN107829065A说明书1/6页一种开口掩膜板、母板及其制备方法、基板、显示装置技术领域[0001]本发