一种硅片双面处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108067993A(43)申请公布日2018.05.25(21)申请号201810021356.1B24B55/06(2006.01)(22)申请日2018.01.10(71)申请人苏州聚晶科技有限公司地址215000江苏省苏州市相城区太平街道聚金工业坊顺乐路(72)发明人崔羽阳军吴会旭李钊(74)专利代理机构苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)32268代理人李先锋(51)Int.Cl.B24B27/033(2006.01)B24B41/00(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B47/20(2006.01)B24B51/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称一种硅片双面处理装置(57)摘要本发明公开了一种硅片双面处理装置，包括底座、第一伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、下模板、上模座、过渡条、滑动吸取机构、进气通道、进气管、托架、直线模组、立板、调速电机、弹性机构、磨头、支架、转轴、第二伺服电机、第一齿轮、第二齿轮、夹取机构、清洁机构，将硅片直接置于定位槽内，滑动吸取机构将硅片吸紧，第一伺服电机驱动上模座前移，调速电机带动磨头转动，直线模组带动磨头移动，完成硅片“扫描”时磨洗，第二伺服电机带动硅片翻转180°，从而对硅片下表面进行磨洗处理。该装置结构简单，能对硅片的正反两面进行自动磨洗处理，而且通过“扫描”式磨洗，能对硅片表面各个地方进行均匀磨洗，提高表面处理质量。CN108067993ACN108067993A权利要求书1/2页1.一种硅片双面处理装置，其特征在于包括底座、第一伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、下模板、上模座、过渡条、滑动吸取机构、进气通道、进气管、托架、直线模组、立板、调速电机、弹性机构、磨头、支架、转轴、第二伺服电机、第一齿轮、第二齿轮、夹取机构、清洁机构，所述的第一伺服电机位于底座上端左侧，所述的第一伺服电机与底座通过螺栓相连，所述的丝杠位于第一伺服电机右侧且位于底座上端，所述的丝杠与第一伺服电机键相连且与底座转动相连，所述的丝杠贯穿进给螺母，所述的进给螺母与丝杠螺纹相连，所述的滑座位于进给螺母外侧且位于底座上端，所述的滑座与进给螺母通过螺栓相连且与底座滑动相连，所述的下模板位于滑座上端，所述的下模板与滑座通过螺栓相连，所述的上模座位于下模板上端，所述的上模座与下模板通过螺栓相连，所述的过渡条位于上模座右侧，所述的过渡条与上模座通过螺栓相连，所述的滑动吸取机构贯穿上模座且贯穿下模板，所述的滑动吸取机构可以沿上模座上下滑动，所述的上模座还设有进气通道，所述的进气通道不贯穿上模座主体，所述的进气管位于上模座外侧，所述的进气管与上模座螺纹相连，所述进气管的腔体和进气通道的腔体互通，所述的托架位于底座上端，所述的托架与底座通过螺栓相连，所述的直线模组位于托架上端，所述的直线模组与托架通过螺栓相连，所述的立板位于直线模组下端，所述的立板与直线模组通过螺栓相连，所述的调速电机位于立板下端，所述的调速电机与立板通过螺栓相连，所述的弹性机构位于调速电机下端，所述的弹性机构与调速电机键相连，所述的磨头位于弹性机构下端，所述的磨头与弹性机构螺纹相连，所述的支架位于底座上端右侧，所述的支架与底座通过螺栓相连，所述的转轴位于支架上端，所述的转轴和支架转动相连，所述的第二伺服电机位于支架上端，所述的第二伺服电机与支架通过螺栓相连，所述的第一齿轮位于第二伺服电机左侧，所述的第一齿轮与第二伺服电机键相连，所述的第二齿轮位于第一齿轮下端且位于转轴左侧，所述的第二齿轮与第一齿轮啮合相连且与转轴键相连，所述的夹取机构位于转轴左侧，所述的夹取机构与转轴螺纹相连，所述的清洁机构位于支架左侧且位于夹取机构下端，所述的清洁机构与支架通过螺栓相连。2.如权利要求1所述的硅片单面处理装置，其特征在于所述的下模板还设有密封套，所述的密封套贯穿下模板且被滑动吸取机构贯穿，所述的密封套与下模板螺纹相连。3.如权利要求2所述的硅片单面处理装置，其特征在于所述的密封套还包括套筒、密封圈，所述的套筒贯穿下模板，所述的套筒与下模板螺纹相连，所述的密封圈位于套筒内侧。4.如权利要求1所述的硅片单面处理装置，其特征在于所述的上模座还设有定位槽，所述的定位槽位于上模座顶部，所述的定位槽不贯穿上模座主体。5.如权利要求1所述的硅片单面处理装置，其特征在于所述的上模座还设有滑动腔，所述滑动腔的腔体与进气通道的腔体互通。6.如权利要求1所述的硅片单面处理装置，其特征在于所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、第一弹簧、吸取块、橡胶垫、吸气胶管，所述的直管贯穿上模座且贯穿密封套，所述的活塞位于直管外侧，所述的活塞与直管螺纹相连，所述的第一弹簧位