研磨装置及研磨方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108340237A(43)申请公布日2018.07.31(21)申请号201810257492.0(22)申请日2018.03.27(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人王子安宋伟李增红黄汉卿王河包珊珊孟勃朱明远苗冬(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静刘伟(51)Int.Cl.B24B9/10(2006.01)B24B49/00(2012.01)B24B51/00(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称研磨装置及研磨方法(57)摘要本发明技术方案的目的是提供一种研磨装置及研磨方法。该研磨装置包括：研磨轮，用于对待研磨基板的相对两个边缘进行研磨；驱动结构，与所述研磨轮连接，用于驱动所述研磨轮移动；边缘检测结构，与所述驱动结构连接，用于检测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置，根据所检测的位置，向所述驱动结构输出控制信号，使所述驱动结构驱动所述研磨轮移动，所述研磨轮的研磨中心面与所述中心线位于同一平面。该研磨装置通过设置边缘检测结构，能够自动地检测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置，解决现有技术研磨装置对位存在偏差的问题。CN108340237ACN108340237A权利要求书1/2页1.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨轮，用于对待研磨基板的相对两个边缘进行研磨；驱动结构，与所述研磨轮连接，用于驱动所述研磨轮移动；边缘检测结构，与所述驱动结构连接，用于检测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置，根据所检测的位置，向所述驱动结构输出控制信号，使所述驱动结构驱动所述研磨轮移动，所述研磨轮的研磨中心面与所述中心线位于同一平面。2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述驱动结构还用于驱动所述研磨轮沿相对两个边缘中其中一边缘的长度方向移动，在移动过程中所述研磨轮对相对两个边缘进行研磨。3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨轮包括关于预设平面对称设置的两个研磨刀口，其中所述预设平面形成为所述研磨中心面，且所述研磨轮对待研磨基板的相对两个边缘进行研磨时，每一所述研磨刀口分别与一个边缘贴合连接。4.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述边缘检测结构包括：图像传感器，用于获取待研磨基板的相对两个边缘的图像；第一控制器，用于根据所述图像传感器所获得的图像，确定待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置；第二控制器，用于根据所述第一控制器所检测的中心线的位置、所述图像传感器相对于待研磨基板的位置和所述研磨轮相对于所述图像传感器的位置，确定所述研磨轮的移动距离，根据所述移动距离向所述驱动结构输出控制信号。5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述边缘检测结构还包括：光源，用于为所述图像传感器获取所述图像时提供照明。6.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，所述光源的数量为至少两个，且分别与所述图像传感器集成于一体，均匀分布在所述图像传感器的外围。7.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述边缘检测结构还包括：气体输出构件，用于在所述图像传感器获取所述图像时，朝所述待研磨基板的方向吹出干燥气体。8.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括：报警结构，用于接收报警信号，根据所述报警信号发出报警消息；其中，所述边缘检测结构还用于检测所述待研磨基板的相对两个边缘之间的厚度，当判断所述厚度与预设厚度之间差值的绝对值大于预设数值时，向所述报警结构输出所述报警信号。9.根据权利要求8所述的研磨装置，其特征在于，所述边缘检测结构还用于在检测所述待研磨基板的相对两个边缘之间的厚度之后，判断所述厚度与所述研磨轮的研磨尺寸是否匹配；当判断不匹配时，向所述报警结构输出所述报警信号。10.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括：研磨台，用于放置所述待研磨基板；对位摄像头，用于对所述待研磨基板在所述研磨台上的位置进行对位，使所述待研磨基板位于所述研磨台的第一预定位置处；其中，当所述待研磨基板位于所述研磨台的第一预定位置处时，所述边缘检测结构检2CN108340237A权利要求书2/2页测待研磨基板的相对两个边缘之间中心线的位置。11.一种采用权利要求1至10任一项所述的研磨装置的研磨方法，其特征在于，所述研磨方法包括：控制待研磨基板移动至研磨台上的第一预定位置处以及控制所述研磨轮相对于所述研磨台位于第二预定位置；启动所述边缘检测结构，使所述研磨轮从所述第二预定位置处移动至研磨位置，其中在所述研磨位置，所述研磨轮的研磨中心面与待研磨基板的相对两个边缘