一种节能型硅片倒角机上的进水装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112053976A(43)申请公布日2020.12.08(21)申请号202010964119.6(22)申请日2020.09.15(71)申请人赣州市业润自动化设备有限公司地址341003江西省赣州市赣州经济开发区香港工业园工业一路北赣州市业润自动化设备有限公司(72)发明人魏运秀(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种节能型硅片倒角机上的进水装置(57)摘要本发明公开了一种节能型硅片倒角机上的进水装置，包括水平的进水管,进水管的前端弯折成型有向上倾斜的延伸管，延伸管的上端弯折成型有水平的输出管，进水管的前端插接有圆柱形的堵头，堵头的前端穿过延伸管成型有竖直的开槽，堵头的开槽内插接有斜置的驱动杆，驱动杆的上端成型有导向槽，驱动杆的导向槽内插接有销轴，销轴的两端插接固定在堵头上，驱动杆的下端插接有支轴，支轴的两端伸出驱动杆插套固定有滚轮。CN112053976ACN112053976A权利要求书1/1页1.一种节能型硅片倒角机上的进水装置，包括水平的进水管(1),其特征在于：进水管(1)的前端弯折成型有向上倾斜的延伸管(11)，延伸管(11)的上端弯折成型有水平的输出管(12)，进水管(1)的前端插接有圆柱形的堵头(2)，堵头(2)的前端穿过延伸管(11)成型有竖直的开槽(21)，堵头(2)的开槽(21)内插接有斜置的驱动杆(4)，驱动杆(4)的上端成型有导向槽(41)，驱动杆(4)的导向槽(41)内插接有销轴(5)，销轴(5)的两端插接固定在堵头(2)上，驱动杆(4)的下端插接有支轴(10)，支轴(10)的两端伸出驱动杆(4)插套固定有滚轮(20)；所述进水管(1)下端的外壁上固定有连接块(3)，连接块(3)的前端面上成型有两根支撑杆(31)，驱动杆(4)插接在支撑杆(31)之间，堵头(2)下侧的驱动杆(4)上插接有铰接轴(40)，铰接轴(40)的两端插接固定在支撑杆(31)上；所述延伸管(11)前侧的堵头(2)上插接固定有压紧块(6)，压紧块(6)上插接有螺栓(9)，螺栓(9)的末端螺接在挡块(7)上，挡块(7)固定在支撑杆(31)上，所述的螺栓(9)上插套有压簧(8)，压簧(8)的两端分别压靠在螺栓(9)的头部和压紧块(6)上，压紧块(6)压靠在挡块(7)上。2.根据权利要求1所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述驱动杆(4)的下端露出输出管(12)的前端面。3.根据权利要求2所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述驱动杆(4)的倾斜方向和延伸管(11)的倾斜方向相反，驱动杆(4)位于延伸管(11)的前下方。4.根据权利要求1所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述输出管(12)的前端插套固定有软管(30)。5.根据权利要求1所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述驱动杆(4)的厚度等于支撑杆(31)之间的间距，驱动杆(4)的厚度等于堵头(2)上开槽(21)的槽宽。6.根据权利要求1所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述驱动杆(4)的两端均呈半圆形，驱动杆(4)两端的圆弧半径小于滚轮(20)的半径。7.根据权利要求1所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述驱动杆(4)上导向槽(41)与驱动杆(4)相平行，导向槽(41)的槽宽等于销轴(5)的直径。8.根据权利要求1所述的一种节能型硅片倒角机上的进水装置，其特征在于：所述堵头(2)的直径等于进水管(1)内壁的直径，堵头(2)的后端成型有斜面(22)，斜面(22)的倾斜方向和延伸管(11)的倾斜方向相同。2CN112053976A说明书1/3页一种节能型硅片倒角机上的进水装置技术领域[0001]本发明涉及半导体倒角机的技术领域，更具体地说涉及一种节能型硅片倒角机上的进水装置。背景技术[0002]目前人们常说的半导体一般指硅片，硅片完成加工生产后的成品一般叫圆晶片。而硅片的来源来自于石英砂，其单晶硅片的生产过程为，单拉晶、磨外圈、切片、退火、倒角、磨削或研磨和CMP。单晶硅片需要进行倒角：将退火后的硅片进行修磨呈圆弧形，以防止硅片边缘破裂以及晶格缺陷产生，并增加磊晶层及光阻层的平面度。在倒角过程中，需要对刀具切割硅片外圈处进行喷乳化液，即能降温润滑，并可以冲去残渣；但倒角后的硅片还是会附带残渣，有些倒角机提升利用可竖直升降并呈循环的链带带动一个个可移动的水槽，完成倒角的放入链带上端的水槽内，然后移动到链带的下端，将水槽内的硅片取出，就可以实现硅片表面的清洗，同时当水槽移动到链带的另一侧时，水槽会发生翻转，水槽翻转可以将附带残渣的水倒