镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111058014A(43)申请公布日2020.04.24(21)申请号202010075626.4(22)申请日2020.01.22(71)申请人通威太阳能（眉山）有限公司地址620000四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号(72)发明人王秀鹏姚骞刘世强王斯海张家峰王亚楠(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256代理人刘迎春(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/34(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称镀膜装置(57)摘要本发明涉及一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在太阳能电池片的基体片上镀减反膜，镀膜装置包括炉体、前法兰壁、后法兰壁和供气装置，其中，镀膜装置上设置有连通外界和容纳腔的至少两组进气孔，供气装置能够同时通过各组进气孔向容纳腔内供气，其中第一组进气孔设置在后法兰壁上，其他进气孔设置在炉体上或前法兰壁上。根据本发明，镀膜装置在炉体的不同位置处设置有进气孔，在制造减反膜的工艺中，供气装置能够经由各个进气孔同时向炉体内供气，以使得炉体内的各处气体均匀地发生反应，从而在位于炉体内的不同位置处的硅片上形成厚度均匀的减反膜。CN111058014ACN111058014A权利要求书1/2页1.一种镀膜装置，用于在太阳能电池片的制造过程中在所述太阳能电池片的基体片上镀减反膜，所述镀膜装置包括：炉体，所述炉体内设置有用于容纳所述基体片的容纳腔；前法兰壁和后法兰壁，所述前法兰壁和所述后法兰壁分别设置在所述炉体的前端和后端；以及供气装置，其特征在于，所述镀膜装置上设置有连通外界和所述容纳腔的至少两组进气孔，所述供气装置能够同时通过各组所述进气孔向所述容纳腔内供气，其中第一组所述进气孔设置在所述后法兰壁上，其他所述进气孔设置在所述炉体上或所述前法兰壁上。2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述炉体为圆柱形结构，所述圆柱形结构的轴线垂直于所述前法兰壁和所述后法兰壁并穿过所述前法兰壁和所述后法兰壁的中心，并且所述第一组进气孔在所述后法兰壁内并沿所述后法兰壁的壁面延伸。3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组进气孔和所述第一组进气孔之间的距离为所述炉体的长度的1/4-3/4。4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少两个，每一组的各个所述进气孔的延伸方向彼此平行。5.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均包括第一进气孔、第二进气孔和第三进气孔，并且各个组的所述第一进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第二进气孔的依次连线平行于所述轴线、各个组的所述第三进气孔的依次连线平行于所述轴线。6.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔均为至少三个，且每一组的各个进气孔的延伸方向均垂直于所述轴线。7.根据权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的每一对相邻的两个所述进气孔的延伸方向之间的夹角均相等。8.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的所有所述进气孔在所述轴线方向上位于同一高度处，且各个组在所述轴线方向上依次等间隔排布。9.根据权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，每一组的所述进气孔围绕所述轴线在相对于所述轴线的周向方向上均匀排布。10.根据权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，在所述镀膜装置上，在任一平行于所述轴线的方向上都至多存在一个所述进气孔。11.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每一组中的各个所述进气孔的径向尺寸相等，但每一组中的所述进气孔的径向尺寸不同于其他组中的所述进气孔的径向尺寸；或者所述镀膜装置的所有所述进气孔均具有相同的径向尺寸。12.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述至少两组进气孔中的第二组进气孔设置在所述炉体上，且所述第二组的所述进气孔的径向尺寸大于所述第一组的所述进气孔的径向尺寸。13.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述进气装置还包括泵管，所述炉体2CN111058014A权利要求书2/2页上还设置有抽气孔，所述泵管构造为能够通过所述抽气孔将所述容纳腔内的气体抽出。14.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，每一组所述进气孔处设置有相对于其他组独立的流速调节装置，所述流量调节装置构造为用于调节排入气体的流速。15.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括进气管，所述进气管为独立于所述后法兰壁的部件并构造为能够安装在所述后法兰壁上，所述第一组进气孔形成在所述进气管内。16.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，