一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109524339A(43)申请公布日2019.03.26(21)申请号201811381608.8(22)申请日2018.11.20(71)申请人韩进龙地址安徽省马鞍山市当涂县当涂新区6号(72)发明人韩进龙(74)专利代理机构安徽知问律师事务所34134代理人王亚军(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/683(2006.01)权利要求书3页说明书9页附图9页(54)发明名称一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法(57)摘要本发明公开了一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本发明提供了一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法，微型器件转移装置，包括，微型器件转移匣，存放微型器件，并将微型器件转移至转换机构的感应装置上；转换机构，包括感应装置和与感应装置相对设置的转写轮，利用电场感应转印技术进行微型器件的转移，将感应装置上的微型器件转移至转移基板上；清洁机构，将感应装置上未转移完全的微型器件回收。利用电场感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。CN109524339ACN109524339A权利要求书1/3页1.一种微型器件转移装置，其特征在于，包括，一个或多个微型器件转移匣(201)，微型器件转移匣(201)与转移机构对应，用于存放微型器件(1)，并将微型器件(1)转移至转移机构的感应装置(202)上；转移机构，包括感应装置(202)和与感应装置(202)相对设置的转写轮(203)，利用感应装置(202)、微型器件(1)和转写轮(203)之间的电场感应进行微型器件(1)的转移，将感应装置(202)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。2.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，还包括清洁机构，将感应装置(202)上未转移完全的微型器件(1)回收。3.根据权利要求2所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的清洁机构包括感应装置刮刀(205)和感应回收仓(206)，感应装置刮刀(205)紧贴感应装置(202)的外缘，感应回收仓(206)与感应装置(202)相邻设置，未转移完全的微型器件(1)回收至感应回收仓(206)内。4.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的微型器件转移匣(201)包括壳体，壳体内设置有转移滚轮(211)，转移滚轮(211)设置有用于放置微型器件(1)的转移滚轮转移孔(223)，转移滚轮(211)内部设置有转移滚轮磁铁(221)，转移滚轮(211)上设置有转移滚轮刮刀(224)。5.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的感应装置(202)为一金属滚轮或外部通过皮带的连接多个滚轮结构，金属滚轮或皮带上设置有导电层。6.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，感应装置(202)为感应轮，感应轮内部设置有感应轮磁铁(2022)和/或转写轮(203)内部设置有转写轮磁铁(2031)。7.根据权利要求1或6所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，感应装置(202)上设置有感应孔位(2021)，感应孔位(2021)直径大于微型器件(1)上部直径。8.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，还包括回收系统，回收系统设置于微型器件转移匣(201)内和/或设置于转移机构后段，将未安装在对应部位的微型器件(1)进行回收。9.根据权利要求8所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，设置于微型器件转移匣(201)内的回收系统结构如下，微型器件转移匣(201)内的转移滚轮(211)相邻的位置设置有回收轮(212)，转移滚轮(211)与回收轮(212)紧贴，回收轮(212)内部靠近转移滚轮(211)一侧设置有回收轮磁铁(222)，回收轮(212)内部背离转移滚轮(211)一侧无磁铁。10.根据权利要求8所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，设置于转移机构后段的回收系统结构如下，包括回收轮(212)和与回收轮(212)对应的回收压轮(215)，转移基板(5)从回收轮(212)和回收压轮(215)之间通过，回收轮(212)内部靠近回收压轮(215)一侧设置有回收轮磁铁(222)，回收轮(212)内部背离回收压轮(215)一侧无磁铁，回收压轮(215)内部设置有磁铁。11.一种微型器件转移系统，其特征在于，包括权利要求1-10所述的若干转移装置(2)、转移基板(5)、传感器(204)及控制系统，若干转移装置(2)设置有一个或者多个，转移基板(5)穿过转移装置(2)，转移装置(2)将微型器件(1)从转移装置(2)中