转移装置及转移方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114743916A(43)申请公布日2022.07.12(21)申请号202210356635.X(22)申请日2022.03.31(71)申请人TCL华星光电技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号(72)发明人谢来(74)专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司44570专利代理师蔡艾莹(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称转移装置及转移方法(57)摘要本申请实施例公开了一种转移装置及转移方法，该转移装置包括喷洒组件、转移组件和加热组件，喷洒组件用于向发光器件上喷洒呈液态的第一介质；转移组件用于将呈液态的第一介质转变为呈固态的第一介质，呈固态的第一介质连接转移组件和发光器件，而后转移组件进行发光器件的转移；加热组件用于将呈固态的第一介质加热并转化为气态，以使转移基板和发光器件分离。转移过程中避免了粘性材料的使用，降低了生产成本，解决了现有转移技术中粘附物残留的问题，对发光器件的使用不产生影响，实现了更好的转移效果。CN114743916ACN114743916A权利要求书1/2页1.一种转移装置，其特征在于，用于将承载基板上的多个待转移的发光器件转移至目标基板上，所述转移装置包括：喷洒组件，所述喷洒组件内设置有呈液态的第一介质，所述喷洒组件用于在位于所述承载基板上的所述发光器件上喷洒呈液态的所述第一介质，所述第一介质包括液态、固态和气态；转移组件，包括一吸附面和制冷构件，所述制冷构件用于使所述吸附面的温度低于所述第一介质的凝固点，以使待转移的所述发光器件上呈液态的所述第一介质转化为固态并与所述转移组件的所述吸附面连接；加热组件，用于在连接有所述发光器件的所述转移组件与所述目标基板对合后，对呈固态的所述第一介质加热并转化为气态，以使所述转移组件与所述发光器件分离。2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述制冷构件包括半导体制冷片，所述吸附面位于所述半导体制冷片的吸热面。3.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移组件包括一转移基板，所述制冷构件包括设置于所述转移基板内部的一容置腔和设置于所述容置腔内的第二介质，所述第二介质用于使所述转移基板的温度低于所述第一介质的凝固点，所述吸附面位于所述转移基板的一侧。4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述转移基板位于所述容置腔靠近所述吸附面一侧的内壁厚度小于或等于位于所述容置腔远离所述吸附面一侧的内壁的厚度。5.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述转移基板位于所述吸附面的一侧设置有多个吸附凹槽。6.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述第一介质包括水，所述第二介质包括液氮或者干冰。7.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述喷洒组件包括一移动构件和设置于所述移动构件上的至少一个喷洒元件，所述移动构件用于带动所述喷洒元件在所述承载基板上方沿与所述承载基板相平行的方向移动。8.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述加热组件包括焊接器件，所述焊接器件用于将所述发光器件与所述目标基板焊接，且对所述第一介质进行加热，以使呈固态的所述第一介质转化为气态。9.一种转移方法，其特征在于，采用如权利要求1至8中任一项所述的转移装置，包括以下步骤：提供一所述承载基板和一所述目标基板，所述承载基板上设置有多个待转移的所述发光器件；采用所述喷洒组件对位于所述承载基板上的所述发光器件上喷洒呈液态的所述第一介质；采用所述制冷构件将所述吸附面的温度降低至低于所述第一介质的凝固点，并将所述转移组件的所述吸附面移至与所述发光器件上的所述第一介质接触，以使所述发光器件上呈液态的所述第一介质转化为固态并与所述转移组件的所述吸附面连接；将连接有所述发光器件的所述转移组件移至与所述目标基板对合，采用所述加热组件对呈固态的所述第一介质加热并转化为气态，以使所述转移组件与所述发光器件分离。2CN114743916A权利要求书2/2页10.根据权利要求9所述的转移方法，其特征在于，所述加热组件包括所述焊接器件，采用所述加热组件对呈固态的所述第一介质加热并转化为气态，以使所述转移组件与所述发光器件分离的步骤，包括：采用所述焊接器件用于将所述发光器件与所述目标基板焊接，且对所述第一介质进行加热，以使呈固态的所述第一介质转化为气态，从而使所述转移组件与所述发光器件分离。3CN114743916A说明书1/7页转移装置及转移方法技术领域[0001]本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种转移装置及其转移方法。背景技术[0002]MicroLED(MicroLightEmittingDiode，