微型组件、微型组件转移装置及微型组件转移方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114078734A(43)申请公布日2022.02.22(21)申请号202011129494.5(22)申请日2020.10.21(30)优先权数据1091276882020.08.14TW(71)申请人晶云科技股份有限公司地址中国台湾桃园市中坜区爱国路60巷37号(72)发明人宋东栢罗长诚(74)专利代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435代理人胡少青许媛媛(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书3页说明书34页附图110页(54)发明名称微型组件、微型组件转移装置及微型组件转移方法(57)摘要本发明公开了一种微型组件、微型组件转移装置及微型组件转移方法，其中前述微型组件转移装置具有一表面具有多个磁吸头或磁吸定位孔的磁吸板，利用前述多个磁吸头或磁吸定位孔以吸附位在一暂时性载板上的多个微型组件表面的磁吸物质，使得位在前述暂时性载板上的前述多个微型组件可被前述磁吸板上的前述多个磁吸头或前述多个磁吸定位孔吸附后，再被转移至一目标载板上的多个微型组件固定处后被固定。CN114078734ACN114078734A权利要求书1/3页1.一种微型组件，其特征在于，包括相对的一接合面及一磁吸面，其中前述接合面包含一个或一个以上的接合垫，且前述磁吸面包含一个或一个以上的磁吸层。2.如权利要求1所述的微型组件，其特征在于，前述微型组件为半导体组件、发光二极管晶粒或微型发光二极管晶粒。3.如权利要求1所述的微型组件，其特征在于，前述磁吸层包括一磁性物质层，且前述磁性物质层的材料选自含有至少铁、钴、镍其中之一或其合金的金属材料。4.一种微型组件转移装置，其特征在于，包括：一第一磁铁，具有相对的一第一端与一第二端；一第一磁吸板，设置于前述第一磁铁下方，前述第一磁吸板具有彼此相对的第一表面、第二表面，其中前述第一磁吸板的前述第一表面与前述第一磁铁的第一端连接，且前述第一磁吸板的前述第二表面还具有一个或一个以上的微型组件对准区域，且每一前述微型组件对准区域均包含一个或一个以上突出于前述第二表面的磁吸头；以及一绝缘层，包覆前述第一磁吸板，且使每一前述微型组件对准区域中的前述磁吸头部分露出前述绝缘层表面。5.如权利要求4所述的微型组件转移装置，其特征在于，前述绝缘层中还包括一磁力阻绝层，形成于临近前述第一磁吸板的前述第二表面且距离d之处(d>0)，且前述磁力阻绝层围绕每一前述微型组件对准区域中的前述磁吸头。6.如权利要求4所述的微型组件转移装置，其特征在于，还包括一第二磁铁及一第二磁吸板，前述第二磁铁具有相对的一第三端与一第四端，前述第二磁吸板与前述第二磁铁的前述第三端连接，且前述第二磁吸板设置于前述第一磁吸板下方。7.如权利要求5所述的微型组件转移装置，其特征在于，还包括一第二磁铁及一第二磁吸板，前述第二磁铁具有相对的一第三端与一第四端，前述第二磁吸板与前述第二磁铁的前述第三端连接，且前述第二磁吸板设置于前述第一磁吸板下方。8.一种微型组件转移方法，其特征在于，其步骤包括：提供一如权利要求4至7中任一项所述的微型组件转移装置；提供一暂时性载板，前述暂时性载板具有彼此相对的第三表面、第四表面，前述第三表面形成有一个或一个以上如权利要求1至3中任一项所述的微型组件，且藉由每一前述微型组件的前述接合面使每一前述微型组件被放置于前述暂时性载板的前述第三表面；提供一目标载板，前述目标载板具有彼此相对的第五表面、第六表面，前述第五表面包括有一个或一个以上微型组件固定处，且每一前述微型组件固定处表面均形成有一导电接合层；将前述暂时性载板移入前述微型组件转移装置中，使前述暂时性载板位在前述第一磁吸板下方且前述暂时性载板的前述第三表面面向前述第一磁吸板的前述第二表面，且位在每一前述微型组件的前述磁吸面的前述磁吸层面对前述微型组件对准区域；控制前述微型组件转移装置的前述第一磁铁的磁力强度，使每一前述微型组件可藉由位在前述磁吸面的前述磁吸层被其所面对的其中一前述微型组件对准区域内的前述磁吸头吸附，进而脱离前述暂时性载板的前述第三表面；将前述暂时性载板移出前述微型组件转移装置，并将前述目标载板移入前述微型组件转移装置中，使前述目标载板位在前述第一磁吸板下方且前述目标载板的前述第五表面面2CN114078734A权利要求书2/3页向前述第一磁吸板的前述第二表面，并使位在前述目标载板的前述第五表面的每一前述微型组件固定处分别对准位在前述第一磁吸板的前述第二表面的每一前述微型组件对准区域；使前述第一磁吸板与前述目标载板对接，并使每一前述微型组件对准区域所吸附的每一前述微型组件藉由前述接合面上的前述接合垫分别与位在前述目