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一种转移装置、转移设备及转移方法.pdf

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本发明涉及机械设备技术领域,公开了一种转移装置、转移设备及转移方法,该转移装置,用于将目标基材转移至承载基材上,包括:第一管道,第一管道包括第一端和第二端,第一端用于与流体源连接;喷嘴组件,喷嘴组件设于第一管道的第二端,用于向对应的目标基材或承载基材喷射流体;开关组件,设于第一管道上,用于控制第一管道的通断。该转移装置、转移设备及转移方法改善了通过微细顶针扎落的方式将微型电子元件从承载薄膜转移到基板上,组合体的质量制约顶针运动速度、顶针载体容易故障、顶针容易损坏的问题。