钢管连续式溅射镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109576660A(43)申请公布日2019.04.05(21)申请号201910038136.4(22)申请日2019.01.16(71)申请人北京奥普科星技术有限公司地址102300北京市门头沟区石龙工业开发区龙园路8号F3-10A号(72)发明人王峥龙睿芬薛道荣(74)专利代理机构北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)11210代理人白明珠(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称钢管连续式溅射镀膜机(57)摘要本发明公开了一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本发明有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。CN109576660ACN109576660A权利要求书1/1页1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。2.根据权利要求1所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8），其中，所述前门阀（13）设于所述第一过渡腔室（2）前端，所述后门阀（14）设于所述第二过渡腔室（8）后端。3.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述真空泵组（15）分别与所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）相连接。4.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，两部所述传动组件分别设在所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）的底部。5.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一保温腔室（4）和第二保温腔室（6）内分别设有铠装加热组件。6.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔室（5）的腔体顶面设有若干磁控靶。7.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，第一保温腔室（4）和镀膜腔室（5）之间以及镀膜腔室（5）和第二保温腔室（6）之间通过法兰连接。8.根据权利要求2-7任一项所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）底端分别设有腔室支架（1）。9.根据权利要求8所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述腔室支架（1）底端设有支撑件（16）。2CN109576660A说明书1/3页钢管连续式溅射镀膜机[0001]技术领域[0002]本发明涉及镀膜技术领域，具体来说，涉及一种钢管连续式溅射镀膜机。背景技术[0003]目前的金属管镀膜机是单腔室镀膜机，其中，单腔室式镀膜机，每次进出料腔室需要暴露大气，造成膜层质量不稳定、抽真空时间长，产能低，且很难兼容多种规格的金属管，尤其是不同长度的金属管，而且受靶的限制，很难给长度超过4m的管子镀膜，靶材利用率也不高。[0004]针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。发明内容[0005]针对相关技术中的上述技术问题，本发明提出一种钢管连续式溅射镀膜机，不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。[0006]为实现上述技术目的，本发明的技术方案是这样实现的：一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有