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水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置.pdf
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本发明公开了一种水平连续式磁控溅射镀膜机在线面板恒温加热装置，传输基板上水平设置有铜传导板，铜传导板装有内嵌式热电偶测温棒和PTC恒温低压加热元件，且分别与传输基板上的铜盘电极对应连接；真空腔室底部设置有旋转式导电轮电极，旋转式导电轮电极包括两组：其中一组为电源电极，另一组为测温电极；传输基板的铜盘电极与旋转式导电轮电极对应接触进行电连接时，进行实时温度检测和加热的控制。本发明克服了连续磁控溅射镀膜在真空腔室内对待镀面板加热难的问题，提高了被镀显示面板的透明导电膜，抗反射膜，高反射膜的镀膜品质。适合用于提
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