输送装置和输送方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110634781A(43)申请公布日2019.12.31(21)申请号201910536209.2(22)申请日2019.06.20(30)优先权数据2018-1194462018.06.25JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人田边广太天野洋一(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322代理人龙淳刘芃茜(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图7页(54)发明名称输送装置和输送方法(57)摘要本发明能够抑制齿轮的齿隙所导致的被处理基片的位置偏离。输送装置包括：基座部件、臂和驱动部。基座部件可旋转地设置于输送室内。臂设置于基座部件上，并支承被处理基片。驱动部利用从动力源经由齿轮传递来的动力，使基座部件向第一旋转方向或者作为第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转。另外，在将由臂支承的被处理基片输送到处理室时，驱动部使基座部件旋转以使得臂的方向成为从第一径向向第二旋转方向偏离规定角度的第二径向，其中第一径向是从基座部件的旋转中心去向处理室的方向。然后，驱动部使基座部件向第一旋转方向旋转规定角度以使得臂的方向从第二径向成为第一径向。CN110634781ACN110634781A权利要求书1/2页1.一种输送装置，其特征在于：设置于周围连接有多个处理室的输送室内，能够在所述输送室与各所述处理室之间输送被处理基片，所述输送装置包括：可旋转地设置于所述输送室内的基座部件；设置于所述基座部件上的支承所述被处理基片的臂；和驱动部，其利用从动力源经由齿轮传递来的动力，使所述基座部件向第一旋转方向或者作为所述第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转，在将由所述臂支承的所述被处理基片输送到所述处理室时，所述驱动部使所述基座部件旋转以使得所述臂的方向成为从第一径向向所述第二旋转方向偏离规定角度的第二径向，其中所述第一径向为从所述基座部件的旋转中心去向所述处理室的方向，之后，使所述基座部件向所述第一旋转方向旋转所述规定角度以使得所述臂的方向从所述第二径向成为所述第一径向。2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于：所述规定角度是在将所述被处理基片输送到多个所述处理室的任一个时都相同的角度。3.如权利要求2所述的输送装置，其特征在于：所述规定角度是0.5°以上1.0°以下的范围内的角度。4.如权利要求1～3中任一项所述的输送装置，其特征在于：驱动部使所述基座部件以第一旋转速度和第二旋转速度旋转，其中，所述第一旋转速度是使所述基座部件旋转以使得所述臂的方向成为所述第二径向时的旋转速度，所述第二旋转速度是使所述基座部件向所述第一旋转方向旋转以使得所述臂的方向从所述第二径向成为所述第一径向时的速度，并且所述第二旋转速度比所述第一旋转速度慢。5.如权利要求4所述的输送装置，其特征在于：所述第二旋转速度为所述第一旋转速度的1/2以下。6.如权利要求4或5所述的输送装置，其特征在于：所述第二旋转速度是在将所述被处理基片输送到多个所述处理室的任一个时都相同的速度。7.如权利要求1～6中任一项所述的输送装置，其特征在于：在利用所述驱动部使所述基座部件旋转以使得所述臂的方向成为所述第二径向时，多个所述处理室被分为使所述基座部件向第三旋转方向旋转的第一处理室和使所述基座部件向作为所述第三旋转方向的相反方向的第四旋转方向旋转的第二处理室，将与所述第一处理室和所述第二处理室中较多的处理室对应的所述第三旋转方向或者所述第四旋转方向，设定为所述第一旋转方向。8.如权利要求1～7中任一项所述的输送装置，其特征在于：所述被处理基片是FPD用的玻璃基片。9.一种由输送装置进行的输送方法，其特征在于：所述输送装置包括：基座部件，其可旋转地设置于周围连接有多个处理室的输送室内；2CN110634781A权利要求书2/2页臂，其设置在所述基座部件上，并支承在所述输送室与各所述处理室之间输送的被处理基片；和驱动部，其利用从动力源经由齿轮传递来的动力，使所述基座部件向第一旋转方向或者作为所述第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转，所述输送方法包括：在将由所述臂支承的所述被处理基片输送到所述处理室时，使所述基座部件旋转以使得所述臂的方向成为从第一径向向所述第二旋转方向偏离规定角度的第二径向的步骤，其中所述第一径向是从所述基座部件的旋转中心去向所述处理室的方向；和使所述基座部件向所述第一旋转方向旋转所述规定角度以使得所述臂的方向从所述第二径向成为所述第一径向的步骤。3CN110634781A说明书1/9页输送装置和输送方法技术领域[0001]本发明的各种方面和实施方式涉及输送装置和输送方法。背景