输送装置,驱动装置和输送装置的制造方法.pdf
邻家****ng
亲,该文档总共16页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
输送装置,驱动装置和输送装置的制造方法.pdf
本发明涉及一种输送装置、一种驱动装置和一种输送装置的制造方法,该输送装置具有不可相对转动地连接在轴上的齿轮,该齿轮的轮齿与另一个齿轮的轮齿啮合,以用于在第一通道区域(55)和第二通道区域(56)之间输送输送物,其中,控制盘借助于轴承、特别是滚动轴承、特别是球轴承可转动地支撑在轴上,其中,控制盘的转动运动借助于止动盘限制,特别是其中,控制盘的转动轴线对应于轴的轴线,其中,控制盘:具有第一轴向延伸的缺口部,用于将输送物、特别是介质引导至第一通道区域或从第一通道区域引导过来;和具有第二轴向延伸的缺口部,用于将输
流体输送装置以及流体输送装置的驱动方法.pdf
流体输送装置以及流体输送装置的驱动方法。流体输送装置具有:管;凸轮,其具有突起部;指,其沿着管配设在管与凸轮之间。该流体输送装置使凸轮旋转,通过突起部沿流体的流动方向依次按动指,反复进行管的压闭和开放来排出流体。并且具有:驱动转子,其驱动凸轮;检测部,其检测凸轮的旋转位置;以及控制部,其使用累计排出量与凸轮的旋转角度大致成比例增加的排出区域(H)的第1近似式、和即使凸轮旋转也几乎不会使累计排出量增减的恒定区域(J)的第2近似式,运算与累计排出量相对应的凸轮旋转角度,使驱动转子驱动直到到达与指定累计排出量相
流体输送装置及流体输送装置的驱动方法.pdf
本发明提供能准确控制液体的累积排出量的流体输送装置的驱动方法。流体输送装置(1)具有有弹性的软管(50);凸轮(20);从凸轮的旋转中心(P1)方向起放射状配置的指状件;向凸轮施加旋转力的驱动转子;检测凸轮的旋转角度的第1检测部;检测驱动转子的旋转角度的第2检测部;表示凸轮旋转角度与累积排出量之间的关系的数据表格,驱动方法含有以下步骤:在由第1检测部检测出凸轮旋转角度的时刻停止旋转,将累积排出量和驱动转子的旋转角度初始化,开始排出液体流体并将由第2检测部把握的凸轮的旋转角度与数据表格对照,在达到与指定累积
输送装置和输送方法.pdf
本发明能够抑制齿轮的齿隙所导致的被处理基片的位置偏离。输送装置包括:基座部件、臂和驱动部。基座部件可旋转地设置于输送室内。臂设置于基座部件上,并支承被处理基片。驱动部利用从动力源经由齿轮传递来的动力,使基座部件向第一旋转方向或者作为第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转。另外,在将由臂支承的被处理基片输送到处理室时,驱动部使基座部件旋转以使得臂的方向成为从第一径向向第二旋转方向偏离规定角度的第二径向,其中第一径向是从基座部件的旋转中心去向处理室的方向。然后,驱动部使基座部件向第一旋转方向旋转规定角度以使
保持装置、输送装置、输送方法.pdf
本发明的课题在于,抑制通过吸引部的吸引将筒体保持于插入体的外周时的筒体的褶皱。保持装置具备:插入体,其在可挠性的筒体的内侧沿其轴向被插入,在沿该轴向观察的剖面中,具有在外周形成的凹部、且包含该凹部在内的周长比该筒体的内周长;以及吸引部,其通过在上述凹部开口的孔对该筒体进行吸引。