一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置.pdf
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一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置.pdf
本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置,所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置,所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷,并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜,保证了纤维镀膜的全面性与均匀性,对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。
一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置.pdf
一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置处设有放卷装置,另一侧的位置处设有收卷装置,所述真空腔体内部在靠近放卷装置位置设有左丝架,真空腔体内部在靠近收卷装置位置设有右丝架,所述纤维丝线从放卷装置放出后在左丝架及右丝架之间进行展开后由收卷装置进行收卷。本发明的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维线进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,纤维丝线有效镀膜的行程增加,使得纤维丝线的表面得到充分镀膜,保证了纤维
一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置.pdf
本发明公开了一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置,包括底座,所述底座上设有支撑杆,所述支撑杆末端设有左滑轮,所述左滑轮上通过连杆连接设置右滑轮,所述右滑轮上设有齿轮传动装置;所述左滑轮及右滑轮内分别设有纤维夹持装置,并通过纤维夹持装置将纤维两端固定;所述底座在位于纤维的下方设有靶材。本发明的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜,只需在纤维装夹装置上将纤维装夹好,通过遥控手柄控制纤维的转动,既保证了纤维镀膜的可操作性与可靠性,又保证了纤维表面镀膜的全面性,对纤维镀膜的制
一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备.pdf
本发明公开了一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备,包括:壳本体、放卷机构、收卷机构、镀膜辊结构、屏蔽隔离装置、溅射阴极结构以及抽气结构。该新型设备能实现在超薄膜材上一次完成多层膜系正反两面的镀膜,解决了起皱、针孔、掉渣等质量缺陷,比传统镀膜机上完成双面镀要采用正反面先后镀的方式,生产周期短,生产效率高、成品率高。
一种磁控溅射镀膜装置.pdf
一种磁控溅射镀膜装置,其用于在真空腔室中对板状工件进行双面镀膜,其包括一个可旋转的承载盘,所述承载盘沿周向均布有多个轴线在同一圆周上的可旋转连接的工件架,所述工件架在所述承载盘下方设置有自转齿轮,所述承载盘下方还设置有可升降的调整齿条。本发明所提供的一种磁控溅射镀膜装置,可在不打开真空腔室的情况下完成对板状工件的双面镀膜,从而节约了抽真空和在真空腔室中加热的时间,大大提升了生产效率。