一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110923653A(43)申请公布日2020.03.27(21)申请号201911400392.X(22)申请日2019.12.30(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区(72)发明人马毅谢续友黄先伟俞越翎张泰华(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213代理人周红芳(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/50(2006.01)C23C14/14(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置(57)摘要本发明公开了一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，包括底座，所述底座上设有支撑杆，所述支撑杆末端设有左滑轮，所述左滑轮上通过连杆连接设置右滑轮，所述右滑轮上设有齿轮传动装置；所述左滑轮及右滑轮内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维两端固定；所述底座在位于纤维的下方设有靶材。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，只需在纤维装夹装置上将纤维装夹好，通过遥控手柄控制纤维的转动，既保证了纤维镀膜的可操作性与可靠性，又保证了纤维表面镀膜的全面性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。CN110923653ACN110923653A权利要求书1/1页1.一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有支撑杆（3），所述支撑杆（3）末端设有左滑轮（6），所述左滑轮（6）上通过连杆（7）连接设置右滑轮（9），所述右滑轮（9）上设有齿轮传动装置；所述左滑轮（6）及右滑轮（9）内分别设有纤维夹持装置，并通过纤维夹持装置将纤维（8）两端固定；所述底座（1）在位于纤维（8）的下方设有靶材（5）。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述左滑轮（6）与右滑轮（9）结构相同，均包括外圈（16）、内圈（17）、圆珠滚子（18）及固定环套（23），所述连杆（7）两端分别与左滑轮（6）及右滑轮（9）的内圈（17）固定连接，所述齿轮传动装置与右滑轮（9）的内圈（17）固定连接。3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述夹持装置包括上压板（19）、下压板（20）、小支架（21）及弹簧（22），所述小支架（21）与上压板（19）分别设置在内圈（17）的相对位置处，所述下压板（20）滑动配合设置在小支架（21）上，且通过其下方弹簧（22）的作用，将纤维的压在上压板（19）与下压板（20）之间。4.根据权利要求2所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述齿轮传动装置包括连接轴A（10）、锥齿轮A（11）、连接轴B（13）、锥齿轮B（12）、连轴器（14）及电机（15），所述电机（15）通过连轴器（14）与连接轴B（13）相连，所述锥齿轮B（12）设置在连接轴B（13）顶端，所述连接轴A（10）一端与内圈（17）固定连接，另一端与锥齿轮A（11）固定连接，并通过锥齿轮A（11）与锥齿轮B（12）啮合传动。5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置，其特征在于，所述电机（15）上设有电机控制装置，所述电机控制装置包括处理器、信号接收器及遥控手柄。2CN110923653A说明书1/3页一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置。背景技术[0002]纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能，因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝，此外镀银的玻璃纤维能焊接，可作导线；镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能，可作高温防护衣等。[0003]在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射镀膜中，纤维镀膜前夹持安装的工作过程比较复杂，且镀膜时的可靠性不高，因此，针对一段细长的纤维，如何保证镀膜的可操作性与可靠性，成为本发明亟待解决的技术问题。发明内容[0004]针对现有技术中存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种以实现提高镀膜可操作性与可靠性的磁控溅射中夹持式纤维镀膜装置。[0005]本发明技术