一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110846632A(43)申请公布日2020.02.28(21)申请号201911236566.3(22)申请日2019.12.05(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区(72)发明人马毅谢续友黄先伟俞越翎张泰华(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213代理人周红芳(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/56(2006.01)C23C14/18(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置(57)摘要本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。CN110846632ACN110846632A权利要求书1/1页1.一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线(11)、真空腔体（14）、升降台（2）及靶材支座（12），其特征在于，所述真空腔体（14）内部在位于靶材支座（12）一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线(11)进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线(11)进行收卷。2.根据权利要求1所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷绕装置包括电机（10）、支撑座（6）、小齿轮（9）、大齿轮（8）、传动轴（7）、卷筒（4）及支撑座（6），所述小齿轮（9）设置在电机上，且小齿轮（9）与大齿轮（8）啮合设置，所述传动轴（7）穿设在支撑座（6）上，且其一端与大齿轮（8）相连，另一端与卷筒（4）相连。3.根据权利要求1所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述丝架装置包括支撑架(17)、滑杆(19)及滑轮组，所述滑轮组包括滑轮一(16)、滑轮二(18)及滑轮三(20)，所述滑轮一(16)及滑轮二(18)分别设置在支撑架(17)上，所述滑轮三(20)设置在滑杆(19)上。4.根据权利要求2所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷筒(4)由上下两线槽组成，其中下线槽底部设有截面为矩形的伸出端，并通过伸出端直接插入传动轴(7)之中，从而实现连接与传动。5.根据权利要求3所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑杆(19)可在支撑架(17)上水平滑动，所述支撑架(17)上设有预紧螺钉(15)，通过预紧螺钉(15)能够调节滑杆(19)的水平位置，从而起到预紧的作用。6.根据权利要求1所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑轮一(16)与滑轮三(19)设置在同一平面，滑轮二(18)与滑轮一(16)、滑轮三(19)均不在同一个平面上。2CN110846632A说明书1/2页一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置技术领域[0001]本发明涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置。背景技术[0002]纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能，因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝，此外镀银的玻璃纤维能焊接，可作导线；镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能，可作高温防护衣等。[0003]在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射镀膜中，就很难保证纤维表面能够全面均匀地镀膜，因此，如何保证镀膜的全面性与均匀性，成为本发明亟待解决的技术问题。发明内容[0004]针对现有技术中存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种实现提高镀膜全面性与均匀性的卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置。[0005]本发明的技术方案如下：一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，其特征在于，所述真空腔体