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一种靶材、靶材组件及其制作方法.pdf
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一种靶材、靶材组件及其制作方法.pdf
本发明提供了一种靶材，由两个或两个以上的部件经过焊接步骤形成，靶材包括靶材部和强化部，强化部的成分与靶材部的成分不同，强化部在靶材的焊接步骤中形成且连接至靶材部以提高了靶材的强度，强化部处于靶材的背面，且强化部覆盖靶材部的背面的至少一部分。靶材的强化部由高纯度金属与该种金属的合金经过焊接而均匀混合形成，具有强化部可以有效加强靶材的强度尤其是水冷面的强度。此外靶材是根据靶材本体在使用过程中正面受到侵蚀后的轮廓线而调整相应的焊接深度，使得在保证靶材本体使用率的情况下尽可能提高靶材的强化部的比例，从而使得靶材在
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本发明公开了一种靶材组件的制作方法，包括步骤：提供背板、外包套、第一盖板和第二盖板；将第一盖板焊接于外包套和背板之间且三者形成容腔；向容腔内装入靶材粉末；将第二盖板焊接于外包套和背板之间且通过第二盖板盖住容腔，形成包套体；对包套体抽真空，待抽真空结束后做闭气处理，形成真空包套体；将真空包套体放入热等静压炉中，待靶材粉末烧结成型并与背板焊接后，冷却真空包套体，冷却后取出真空包套体，去除外包套、第一盖板和第二盖板，获得靶材组件。上述靶材组件的制作方法实现了靶材粉末烧结成型的同时与背板进行扩散焊接，避免了因热膨
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一种靶材组件的制造方法，包括以下步骤：提供靶材与背板；对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小；将所述靶材、背板焊接在一起；去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材组件。本发明还提供一种靶材组件，包括靶材以及背板，所述靶材的焊接面嵌入所述背板的焊接面中。本发明提供的方法进一步排出了靶材、背板之间的残留气体，提高了靶材成品率
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