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靶材组件的制作方法.pdf
2023-06-18
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雨巷****碧易
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靶材组件的制作方法.pdf
本发明公开了一种靶材组件的制作方法，包括步骤：提供背板、外包套、第一盖板和第二盖板；将第一盖板焊接于外包套和背板之间且三者形成容腔；向容腔内装入靶材粉末；将第二盖板焊接于外包套和背板之间且通过第二盖板盖住容腔，形成包套体；对包套体抽真空，待抽真空结束后做闭气处理，形成真空包套体；将真空包套体放入热等静压炉中，待靶材粉末烧结成型并与背板焊接后，冷却真空包套体，冷却后取出真空包套体，去除外包套、第一盖板和第二盖板，获得靶材组件。上述靶材组件的制作方法实现了靶材粉末烧结成型的同时与背板进行扩散焊接，避免了因热膨
2023-06-18
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一种靶材、靶材组件及其制作方法.pdf
本发明提供了一种靶材，由两个或两个以上的部件经过焊接步骤形成，靶材包括靶材部和强化部，强化部的成分与靶材部的成分不同，强化部在靶材的焊接步骤中形成且连接至靶材部以提高了靶材的强度，强化部处于靶材的背面，且强化部覆盖靶材部的背面的至少一部分。靶材的强化部由高纯度金属与该种金属的合金经过焊接而均匀混合形成，具有强化部可以有效加强靶材的强度尤其是水冷面的强度。此外靶材是根据靶材本体在使用过程中正面受到侵蚀后的轮廓线而调整相应的焊接深度，使得在保证靶材本体使用率的情况下尽可能提高靶材的强化部的比例，从而使得靶材在
2023-08-19
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本发明公开了一种靶材组件的制造方法，包括：根据背板材质要求准备相应的背板粉末原料；准备待焊接的靶材板坯，靶材板坯包括溅射面和焊接面；将背板粉末原料和靶材板坯依次装入模具中，背板粉末原料和靶材板坯的焊接面相接触；将装有背板粉末原料和靶材板坯的模具放入真空热压烧结炉，同步进行背板热压烧结成型，以及靶材板坯与背板材料扩散焊接，得到靶材组件坯体；对得到的靶材组件坯体进行外形机加工处理得到靶材组件。本发明制造的靶材组件表面平整度高、弯曲变形小、焊合率高，背板致密度高，组件焊接成品率高。
2023-06-17
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靶材组件的焊接方法.pdf
一种靶材组件的焊接方法，包括以下步骤：提供至少两个靶材组件坯料，每个所述靶材组件坯料包括背板和设置于背板凹槽内的靶材；将所述至少两个靶材组件坯料叠放至真空包套内，相邻的靶材组件坯料之间具有隔离片；将所述真空包套放入热等静压炉，利用热等静压工艺将每个靶材组件坯料中的靶材与背板进行焊接，形成至少两个靶材组件；所述焊接完成后，对真空包套进行冷却，去除包套和隔离片，取出至少两个靶材组件。采用本发明的方法能够实现在一个包套内实现两个靶材组件坯料中的各自的靶材与背板之间的焊接，从而形成至少两个靶材组件。进而提高了靶材
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靶材组件的焊接方法.pdf
一种靶材组件的焊接方法，包括：提供靶材、背板和第一盖板，背板包括底板、设置于底板上并与底板连接的第二盖板，底板靠近第二盖板底面的位置处具有冷却水道；第二盖板顶面具有第一凹槽，第一凹槽底面具有第二凹槽；将靶材置于第二凹槽内，并将靶材的待焊接面与第二凹槽底面接触，之后，将第一盖板置于第一凹槽内与第二盖板拼接成真空包套；对真空包套进行密封处理并抽真空，之后做闭气处理；将闭气处理后的真空包套放入热等静压炉中，利用热等静压工艺将靶材的待焊接面与第二凹槽底面焊接形成靶材组件；焊接完成后，对真空包套进行冷却，去除第一盖
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