一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115016094A(43)申请公布日2022.09.06(21)申请号202210661115.X(22)申请日2022.06.13(71)申请人北京理工大学地址100081北京市海淀区中关村南大街5号(72)发明人李朝将李二波苏泰玉张之敬萨仁其木格熊健(51)Int.Cl.G02B7/182(2021.01)G02B7/185(2021.01)G02B7/198(2021.01)G01B21/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称作方便，能够实现对反射镜位姿的精准测量和精一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调密调整，最终提高多层嵌套反射镜的装调精度。整装置(57)摘要本发明公开了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，装置包括底架，转台，圆形底板，测量支架，四个非接触传感器，芯轴,反射镜,前辐板，调整组件，支撑组件。其中，调整组件由调整电机，调整联轴器，调整输出轴，连杆A，调整底板，调整锁紧扣，下楔面，上楔面，承载连接座，承载面，高精度力传感器，调整架，连杆B，连杆C，悬臂底座A，悬臂支撑A，微调整器A，立板，微调整器B，悬臂支撑B，悬臂底座B，悬臂梁组成，为杠杆式对称浮动支撑结构，用于实现对承载反射镜位姿的精密调整；支撑组件由支撑电机，支撑连接块，支撑联轴器，支撑底座，支撑台，支撑调整螺母，支撑锁紧螺母，支撑臂，收紧弹簧组成，用于实现对前辐板的稳定支撑；非接触传感器共有四个，从上往下依次安装在测量支架上，用于实现对旋转过程中相应器件外形面跳动的精准CN115016094A测量，从而计算出反射镜当前的位姿。该装置操CN115016094A权利要求书1/1页1.一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，其特征在于：包括底架(1)，转台(2)，圆形底板(3)，测量支架(4)，非接触传感器A(5)，非接触传感器B(6)，非接触传感器C(7)，非接触传感器D(8),芯轴(9),反射镜(10),前辐板(11)，调整组件(12)，支撑组件(13)；所述调整组件(12)由调整电机(121)，调整联轴器(122)，调整输出轴(123)，连杆A(124)，调整底板(125)，调整锁紧扣(126)，下楔面(127)，上楔面(128)，承载连接座(129)，承载面(1210)，高精度力传感器(1211)，调整架(1212)，连杆B(1213)，连杆C(1214)，悬臂底座A(1215)，悬臂支撑A(1216)，微调整器A(1217)，立板(1218)，微调整器B(1219)，悬臂支撑B(1220)，悬臂底座B(1221)，悬臂梁(1222)组成，为杠杆式对称浮动支撑结构，用于实现对承载反射镜(10)位姿的精密调整；所述支撑组件(13)由支撑电机(131)，支撑连接块(132)，支撑联轴器(133)，支撑底座(134)，支撑台(135)，支撑调整螺母(136)，支撑锁紧螺母(137)，支撑臂(138)，收紧弹簧(139)组成，用于实现对前辐板(11)的稳定支撑；所述非接触传感器A(5)，非接触传感器B(6)，非接触传感器C(7)，非接触传感器D(8)依次竖直安装在测量支架(4)上，用于实现对转动过程中相应器件外形面跳动的精准测量，从而计算出反射镜(10)当前的位姿。2.如权利要求1所述的前辐板(11)，其特征在于：所述前辐板(11)为带有精密加工的齿槽状辐条的圆盘形结构，其中部开有圆孔，便于芯轴(9)的竖直穿过。3.如权利要求1所述的圆形底板(3)，其特征在于：所述圆形底板(3)外表面为精密加工，其端面开有六道凸字形沟槽，便于上面承载器件的固定。2CN115016094A说明书1/4页一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置技术领域[0001]本发明属于光学器件精密调整领域，具体涉及一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置。背景技术[0002]近几十年来多层嵌套反射镜由于其聚焦效率高、光学增益大的特点，成为深空探测中接收X射线光学镜头的核心结构件，国外已经开展了大量的相关研究。国内针对多层嵌套反射镜的研究尚处于起步阶段，所需相关的精密成品需要从国外进口，由于多层嵌套反射镜具有复杂的制造、装调、测试等工艺流程，需要分阶段、分步骤、分条件的去挨个突破。相关研究表明对于一体式的电铸镍型多层嵌套反射镜，其装调过程的好坏很大程度上决定了最终光学镜头的精度，但是由于单层反射镜属于薄片(几百微米厚)多层数(多达几十到上百层)器件，其在装调过程中的精度的检测及微调整成为关键，因此需要设计一套装调装置来解决调过程中遇到的问题，提高最终的多层嵌套反射镜的装调精度。发明内容[0003]有鉴于此，本发明提供了一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置，该装置能够实现对