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一种Mini/Micro LED芯片气动巨量转移装置.pdf
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一种Mini/Micro LED芯片气动巨量转移装置.pdf
本发明公开了一种Mini/MicroLED芯片气动巨量转移装置，主要由芯片载台系统、基板载台系统和气动视觉系统组成，芯片载台系统主要包括：大理石底座、支座、外导轨、直线电机、芯片直线移动组件、纵向光栅尺、纵向光栅尺读数头、芯片旋转调节组件和芯片载板；基板载台系统主要包括：下光栅尺、下光栅尺读数头、内导轨、内电机、基板纵向移动组件和基板横向移动组件；气动视觉系统主要包括：支撑梁、上导轨、上直线电机、上横向移动组件、调压阀、高频电磁阀、横向光栅尺读数头、横向光栅尺、固定座底板、固定座、工业CCD相机和气嘴。
2023-08-12
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