曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113621931A(43)申请公布日2021.11.09(21)申请号202110966057.7C23C14/16(2006.01)(22)申请日2021.08.23C23C14/58(2006.01)(71)申请人中北大学地址030051山西省太原市尖草坪区学院路3号(72)发明人谭秋林董和磊张磊李硕林(74)专利代理机构北京致科知识产权代理有限公司11672代理人李洪娟魏红雅(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/35(2006.01)C23C14/02(2006.01)C23C14/06(2006.01)C23C14/08(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图9页(54)发明名称曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统(57)摘要本发明提供一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，该夹具包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。本发明可以将夹持有曲面基片的夹具置于镀膜设备中，在曲面基片上可以更加有效的进行刻蚀和沉积材料，从而能够在曲面基片上有效制备薄膜传感器，解决了现有技术无法在曲面基片有效进行镀膜的问题。CN113621931ACN113621931A权利要求书1/1页1.一种曲面基片的镀膜夹具，其特征在于，包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述背板和所述支柱分别设置在所述底板上第一位置和第二位置；所述固定夹板设置在所述底板上的第三位置，所述移动夹板与所述固定夹板平行设置，能够沿靠近或远离所述固定夹板的方向移动；所述第一位置和所述第二位置在所述固定夹板和所述移动夹板中心连线的两侧。3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支柱包括固定柱和高度调节旋钮，用于调节所支撑的所述曲面基片的第二端的高度，以调节所述曲面基片的上表面与底板的角度。4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述固定柱为螺母，所述高度调节旋钮为与所述螺母适配的螺杆。5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括丝杠和固定板；所述固定板固定设置在所述底板上，所述固定板位于所述移动夹板远离所述固定夹板的一侧；所述丝杠的一端与所述固定夹板连接，所述丝杠的另一端与所述固定板连接，所述移动夹板通过螺母套接在所述丝杠上，将所述丝杠的旋转运动转换为所述移动夹板的直线运动，使得所述移动夹板沿所述丝杠向所述固定夹板移动或向所述固定板移动，以适配对不同尺寸曲面基片的夹持。6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述丝杠的另一端设置有夹持旋钮，用于带动所述移动夹板沿所述丝杠移动。7.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，还包括导向杆；所述导向杆的一端与所述固定夹板固定连接，所述导向杆的另一端与所述固定板固定连接，所述导向杆穿过所述移动夹板，所述移动夹板能够沿所述导向杆移动。8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括导轨及滑块；所述导轨固定在所述底板上，所述滑块与所述导轨滑动连接，且与所述移动夹板固定连接，带动所述移动夹板沿所述导轨移动，以适配对不同尺寸曲面基片的夹持。9.根据权利要求1‑8任一项所述的夹具，其特征在于，所述底板的横截面为圆形、正方形或长方形。10.一种曲面基片的镀膜系统，其特征在于，包括镀膜设备及如权利要求1‑9任一项所述的曲面基片的镀膜夹具；所述曲面基片夹持在所述曲面基片的镀膜夹具上；所述曲面基片的镀膜夹具置于所述镀膜设备的溅射室内，以使所述镀膜设备为所述曲面基片镀膜。2CN113621931A说明书1/8页曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统技术领域[0001]本发明涉及镀膜生产技术领域，尤其涉及一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统。背景技术[0002]随着航天事业的快速发展，航空发动机随之向更高的水平更新换代，与此同时，引擎发动时内部温度也越来越高，使得发动机叶片等高温部件需要在更高环境中工作，为了保证高温部件的正常工作，对高温部件的温度、应变等进行监测以检测其工作状态是必不可少的，对高温部件温度、应变等的监测通常采用薄膜传感器实现，薄膜传感器是通过在基片上沉积薄膜(即镀膜)制备而成。[0003]现有技术通常是将平面基片置于镀膜设备内进行镀膜，对于曲面基片却