

镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机.pdf
一条****涛k
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本申请实施例提供了一种镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机。所述镀膜机中基片位置的监测方法包括:获取摄像装置采集到的场景图像;基于所述场景图像确定目标基片及所述目标基片的三维位置信息;在基于所述三维位置信息确定所述目标基片处于预设的目标区域内时,发出告警信息。本申请实施例用以解决现有技术存在镀膜过程中无法及时发现基片从伞架掉落的技术问题。
一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置.pdf
本发明公开了一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,包括立杆和连接头,所述立杆的下方固定有通气管,且通气管的下方安装有防护罩,所述防护罩的内表面安装有出气盘,所述滑座的上方安装有支撑杆,所述连接头的下方与支撑杆的上端相互连接,且连接头的外侧通过承重架与承托盘相互连接,所述立杆的上端从下往上依次从连接头、承托盘和调控盒的表面贯穿,所述立杆的下端通过通气管与出气盘为贯通连接。该磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,在拾取基片时,拉杆带动活塞进行上下移动,起到了对基片进行散热的作用,并且当活塞向上移动时,防护罩内部的
一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置,包括传输机构和平移机构,传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆,传动杆的两端分别安装在两块安装板上,在真空室外的传动杆外套有波纹管,传动杆一端的末端安装有同步带轮,相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对,两块安装板上的马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接,在真空室内的传动杆上装有摩擦轮,相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布,平移机构包括平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置,平移马达通过同步带与丝杠连接,丝杠螺母通过连接杆与安装板连接。本发明实现了
镀膜机维护方法.pdf
真空镀膜机维护方法第一章电子枪1.电子枪枪头罩内容:电子枪头罩,须每日清洁一次;清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升,扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应,以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。1.1清洁方法:1)分解枪头罩后进行喷沙方式清洁;2)喷沙必须只操作枪头罩的外部;3)枪头罩的内里面绝对不可以喷沙,如果对内部经常性喷沙处理,会导致固定螺丝的磨损使得组装时不再扣紧,如长时间喷沙处理,严重影响或损坏螺纹结构,导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。此因素会导
一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上,所述导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。本发明通过利用齿轮的啮合进行导电,由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1,所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动,即导电齿轮与外齿圈保持接触,使得转架在转动的时候始终保持通电,从而提高转架上的产品的镀膜质量。同时本发明又提供了一种应用了上述导电系统的种真空镀膜机。利用了上述导电系统的真