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光学镀膜基片装载装置.pdf
2023-06-06
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冷霜****魔王
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相关资料
光学镀膜基片装载装置.pdf
本实用新型涉及一种镀膜夹具。所述镀膜夹具包括:载片盘及底托;所述载片盘固定设于底托之上;在所述底托设有基片支撑柱;在基片支撑柱内设有弹性调节机构;在所述载片盘与底托支撑柱对应位置设有压钉;压钉与支撑柱中间形成安装腔以便容纳镀膜基片。本实用新型通过可变高度的弹性调节机构,实现镀膜基片上表面紧贴压钉,高度固定,消除被镀膜基片厚度加工精度带来的高度误差,可实现光学薄膜产品光谱均匀性、一致性。
2023-06-06
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曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统.pdf
本发明提供一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，该夹具包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。本发明可以将夹持有曲面基片的夹具置于镀膜设备中，在曲面基片上可以更加有效的进行刻蚀和沉积材料，从而能够在曲面基片上有效制备薄膜传感器，解决了现有技术无法在曲面基片有效进行镀膜的问题。
2023-07-25
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镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机.pdf
本申请实施例提供了一种镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机。所述镀膜机中基片位置的监测方法包括：获取摄像装置采集到的场景图像；基于所述场景图像确定目标基片及所述目标基片的三维位置信息；在基于所述三维位置信息确定所述目标基片处于预设的目标区域内时，发出告警信息。本申请实施例用以解决现有技术存在镀膜过程中无法及时发现基片从伞架掉落的技术问题。
2023-07-25
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基片载具及炉管镀膜设备.pdf
本发明提供了一种基片载具及炉管镀膜设备。本发明的基片载具包括固定架和至少三个支撑部；各个支撑部均竖直设置于固定架，且至少一个支撑部设置于之外的至少两个支撑部所在的方向之外；支撑部沿竖直方向设有若干外沿部，任意两个相邻的外沿部之间留有间隙，间隙用于固定基片。本发明的基片载具通过在固定架上设置至少三个支撑部，并在支撑部上沿竖直方向设置若干个外沿部，使得能够通过各个支撑部上的外沿部对基片进行至少三点的支撑，使得基片能够水平或与水平面呈一定的倾角设置，这样使得基片之间的空间更容易流动气体，且气体的流动对基片的侧面
2023-06-15
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玻璃基片装载架下夹具.pdf
一种玻璃基片装载架下夹具，它为一端有凸起的块状体，块状体上有凸起的那端呈封闭状，块状体上的另一端开有螺纹沉孔，螺纹沉孔的轴线与块状体的中心线共同一直线，该沉孔的盲端靠近块状体上有凸起的那端。使用时，通过螺钉穿过玻璃基片装载架，与本下夹具的螺纹沉孔配合，将本下夹具固定在玻璃基片装载架上。因螺钉的螺纹段处于本下夹具的螺纹沉孔内而不再处于暴露状态，故经过多次镀膜后，螺钉的螺纹段不易被镀上镀膜材料（如氧化铟锡）。这样，通过拆卸螺钉对本下夹具的具体位置进行相应调整时，螺钉易于拆卸，本下夹具也不易损坏而可继续使用，以
2023-06-28
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