用于手表ECG表盖的镀膜夹具及应用该镀膜夹具的镀膜机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115110054A(43)申请公布日2022.09.27(21)申请号202210887264.8(22)申请日2022.07.26(71)申请人深圳市三束镀膜技术有限公司地址518000广东省深圳市龙华区福城街道福民社区核电工业园5号101(72)发明人战永刚冯红涛郭鑫萌陈亮周菲(74)专利代理机构深圳市中科创为专利代理有限公司44384专利代理师杨春冯建华(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图6页(54)发明名称用于手表ECG表盖的镀膜夹具及应用该镀膜夹具的镀膜机(57)摘要本发明公开一种用于手表ECG表盖的镀膜夹具，包括：旋转座、支撑杆以及若干装夹板，支撑杆旋转设于所述旋转座上，若干装夹板以支撑杆为中心沿圆周方向等距均匀设于支撑杆上，装夹板的内边与支撑杆固定连接，镀膜时盖板的底面固定在装夹板的正面且盖板上的背面电极悬空露出于装夹板。装夹板的外端向一侧弯折形成弯折部，镀膜时盖板固定在弯折部的外表面。膜时将盖板粘贴在装夹板上，本夹具能够进行自转，因而能够采用公自转的方法同时镀制盖板的两面以及连接处，从而保证连接处的原子在沉积过程中和正反面电极上涂层原子的沉积条件相同，以获得更好地膜层均匀性，从而使得涂层的导电性与结合力更好。CN115110054ACN115110054A权利要求书1/1页1.一种用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，包括：旋转座、支撑杆以及若干装夹板，所述支撑杆旋转设于所述旋转座上，若干装夹板以支撑杆为中心沿圆周方向等距均匀设于支撑杆上，所述装夹板的内边与支撑杆固定连接，镀膜时盖板的底面固定在所述装夹板的正面且盖板上的背面电极悬空露出于所述装夹板。2.根据权利要求1所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，所述装夹板的外端向一侧弯折形成弯折部，镀膜时盖板固定在弯折部的外表面。3.根据权利要求2所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，所述装夹板的弯折角度为15°‑75°。4.根据权利要求1所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，还包括与所述支撑杆连接的固定环。5.根据权利要求4所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，还包括与所述固定环连接的驱动件，所述驱动件驱动所述固定环以及支撑杆在所述旋转座上转动。6.根据权利要求1所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，盖板通过高温双面胶带粘贴在装夹板上。7.根据权利要求1所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具，其特征在于，盖板通过吸附垫固定在装夹板上。8.一种镀膜机，其特征在于，包括如权利要求1‑7任一项所述的用于手表ECG表盖的镀膜夹具。2CN115110054A说明书1/3页用于手表ECG表盖的镀膜夹具及应用该镀膜夹具的镀膜机技术领域[0001]本发明涉及磁控溅射镀膜领域，尤其涉及一种用于手表ECG表盖的镀膜夹具及应用该镀膜夹具的镀膜机。背景技术[0002]近几年来市场上出现了一种可以测量人体心电图(ECG)的智能手表，使用时只需将手表穿戴在手腕上，另一只手长按表冠30秒中即可获得人体心电图的形状。其使用原理是在按压表冠的同时，人体电流从手表背面流通到表冠，电流大小被手表记录，再通过一系列复杂的算法将人体的电信号转化为人体的心电图像呈现在显示屏幕上，即可方便直观地获得心率状况。[0003]为了实现上述功能，通常会在与皮肤接触的佩戴部位和表冠相连的里端镀制一层导电薄膜。图1与图2为盖板的结构示意图，行业内常用的方法是分别在盖板的正反两面制备导电薄膜，使用不导电的塑料掩膜包裹好一部分区域，其他部位即充当电极，有正面电极100和背面电极200。[0004]在电极的制作过程中，行业内常用的方法是使用公转夹具分别制备正反两面的导电薄膜形成电极，由于盖板存在一定的厚度，在镀制过程中正反两面电极之间的连接处300只能通过绕镀的方式来实现导电。然而，在膜层沉积的过程中，粒子是以较高的动能撞击到基材表面，一般是直正面碰撞，绕镀部分的涂层是靠粒子的二次碰撞实现的，在碰撞过程中，靶粒子会失去一部分动能，这样的结合并不会很牢固。而且，二次碰撞的方向并不稳定，这样会导致侧面涂层的均匀性较差，镀层的电阻不均匀且较大。而且分炉制备的炉次和工艺步骤更多，花费的人力物力更多，在生产过程中较为繁琐。发明内容[0005]本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种用于手表ECG表盖的镀膜夹具及应用该镀膜夹具的镀膜机，用于在镀膜时使盖板获得更好地膜层均匀性。[0006]本发明的技术方案如下：一种用于手表ECG表盖的镀膜夹具，包括：旋转座、支撑杆以及若干装夹板，所述支撑杆旋转设于所述旋转座上，若干装夹板以支撑杆为中心沿圆周方向等距均匀设于支撑杆上，所述装夹板的