基片载具及炉管镀膜设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115404462A(43)申请公布日2022.11.29(21)申请号202211144695.1C23C14/50(2006.01)(22)申请日2022.09.20(71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司地址214028江苏省无锡市新吴区漓江路11号(72)发明人陈云廖宝臣张敏陈程武啟强种世平其他发明人请求不公开姓名(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286专利代理师侯林林(51)Int.Cl.C23C16/455(2006.01)C23C16/458(2006.01)C23C14/22(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图11页(54)发明名称基片载具及炉管镀膜设备(57)摘要本发明提供了一种基片载具及炉管镀膜设备。本发明的基片载具包括固定架和至少三个支撑部；各个支撑部均竖直设置于固定架，且至少一个支撑部设置于之外的至少两个支撑部所在的方向之外；支撑部沿竖直方向设有若干外沿部，任意两个相邻的外沿部之间留有间隙，间隙用于固定基片。本发明的基片载具通过在固定架上设置至少三个支撑部，并在支撑部上沿竖直方向设置若干个外沿部，使得能够通过各个支撑部上的外沿部对基片进行至少三点的支撑，使得基片能够水平或与水平面呈一定的倾角设置，这样使得基片之间的空间更容易流动气体，且气体的流动对基片的侧面机会没有作用力，极大的降低气体流动对基片的冲击，降低基片翘曲的可能，保证成品率。CN115404462ACN115404462A权利要求书1/2页1.一种基片载具，其特征在于，包括固定架和至少三个支撑部；各个所述支撑部均竖直设置于所述固定架，且至少一个所述支撑部设置于之外的至少两个所述支撑部所在的方向之外；所述支撑部设有若干外沿部，任意两个相邻的所述外沿部之间留有间隙，所述间隙用于固定基片。2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述外沿部设有通孔或镂空。3.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述固定架设有两个相对且水平设置的支撑面，所述支撑部的两端分别设置于两个所述支撑面。4.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述支撑部的数量设置为四个，两个所述支撑部设置于第一直线，另外两个所述支撑部设置于第二直线，所述第一直线和所述第二直线相互平行，且所述第一直线的所述支撑部的所述外沿部朝向所述第二直线设置，所述第二直线的所述支撑部的所述外沿部朝向所述第一直线设置。5.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述外沿部设有条纹部，所述条纹部用于支撑基片。6.根据权利要求5所述的载具，其特征在于，所述条纹部的顶部设有圆角。7.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述外沿部设有球凸部，所述球凸部用于支撑基片。8.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述支撑部沿水平方向可移动的设置于所述固定架。9.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述支撑部沿竖直方向可移动的设置于所述固定架。10.根据权利要求9所述的载具，其特征在于，还包括微调机构；所述微调机构设置于所述固定架，所述微调机构用于调整所述支撑部的高度。11.根据权利要求10所述的载具，其特征在于，所述支撑部包括第一支撑部和第二支撑部；所述第一支撑部和所述第二支撑部均沿竖直方向可移动的设置于所述固定架；所述微调机构同时与所述第一支撑部和所述第二支撑部连接，所述微调机构用于同步反向调整所述第一支撑部和所述第二支撑部的高度。12.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，至少一个所述支撑部设有导流孔，且所述导流孔贯穿该所述支撑部。13.根据权利要求12所述的载具，其特征在于，所述导流孔包括第一端口和第二端口；所述第一端口和所述第二端口位于所述支撑部相邻或相对侧面。14.根据权利要求13所述的载具，其特征在于，所述导流孔还包括第三端口；所述第三端口设置于所述支撑部与所述第一端口或所述第二端口相邻的侧面。15.根据权利要求14所述的载具，其特征在于，所述第一端口、所述第二端口或所述第三端口朝向所述间隙设置。16.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，还包括导流件；所述导流件设置于所述固定架，且所述导流件与所述支撑部间隔设置。17.一种炉管镀膜设备，其特征在于，包括炉体、供气装置和权利要求1至16中任一项所2CN115404462A权利要求书2/2页述的基片载具；所述炉体中空密封设置，所述供气装置与所述炉体的中空处连通，所述基片载具用于承载待镀膜基片，所述供气装置用于对所述待镀膜基片提供镀膜所需原料。3CN115404462A说明书1/9页基片载具及炉管镀膜设备技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种基片载具及炉管镀膜设备。背景技术[0002]常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能