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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113853359A(43)申请公布日2021.12.28(21)申请号201980096397.X(74)专利代理机构北京思益华伦专利代理事务(22)申请日2019.05.14所(普通合伙)11418代理人赵飞孟昆(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.11.12(51)Int.Cl.C03B33/00(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据C03B33/023(2006.01)PCT/CN2019/0868302019.05.14C03C21/00(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/227924EN2020.11.19(71)申请人肖特玻璃科技(苏州)有限公司地址215009江苏省苏州市科技工业园火炬路79号(72)发明人达宁单延泉和峰肖伟邓伟志权利要求书3页说明书26页附图15页(54)发明名称璃盘(1)化学钢化。具有高弯曲强度的薄玻璃基板及其制备方法(57)摘要本发明的目的是改善非常薄的玻璃板的韧性和对玻璃板的处理。为此,提供了一种用于制备结构化玻璃盘(1)的方法,该方法包括以下步骤:‑提供厚度为至多400μm的玻璃盘(1),‑将超短脉冲激光器(5)的激光束(50)引导并聚焦到玻璃盘(1)上,激光束(50)的波长对于玻璃盘(1)的玻璃是可穿透的,使得激光束(50)可以穿透玻璃盘(1),‑激光束(50)聚焦以在玻璃盘(1)内产生细长焦点(52),激光束(50)的强度足以沿着焦点(52)在玻璃盘(1)内产生损伤区(7),‑激光束(50)相对于玻璃盘(1)移动以在玻璃盘(1)上沿着至少一个环形路径(55)并肩插入多个损伤区(7),使得在玻璃盘(1)中限定至少一个工件(9),其中环形路径(55)包围工件(9),工件保持连接到玻璃盘(1)的周围区段,‑通过将玻璃盘暴露于蚀刻剂来进行蚀刻,蚀刻剂侵入到损伤区(7)CN113853359A中,‑在蚀刻之后,将具有至少一个工件(9)的玻CN113853359A权利要求书1/3页1.一种用于制备结构化玻璃盘(1)的方法,所述方法包括以下步骤:‑提供厚度为至多400μm的玻璃盘(1),‑将超短脉冲激光器(5)的激光束(50)引导并聚焦到所述玻璃盘(1)上,所述激光束(50)的波长对于所述玻璃盘(1)的玻璃是可穿透的,使得所述激光束(50)能够穿透所述玻璃盘(1),‑所述激光束(50)聚焦以在所述玻璃盘(1)内产生细长焦点(52),所述激光束(50)的强度足以沿着所述焦点(52)在所述玻璃盘(1)内产生损伤区(7),‑所述激光束(50)相对于所述玻璃盘(1)移动以在所述玻璃盘(1)上沿着至少一个环形路径(55)并肩插入多个损伤区(7),使得在所述玻璃盘(1)中限定至少一个工件(9),其中所述环形路径(55)包围所述工件(9),所述工件保持连接到所述玻璃盘(1)的周围区段,‑通过将所述玻璃盘暴露于蚀刻剂来进行蚀刻,所述蚀刻剂侵入到所述损伤区(7)中,‑在蚀刻之后,化学钢化具有所述至少一个工件(9)的所述玻璃盘(1)。2.根据前述权利要求所述的方法,其特征在于,将通道中的至少一些通道加宽以至于相邻通道(70)合并,其中所述工件(9)保持连接到所述玻璃盘(1)的周围部分(11)。3.根据前述权利要求所述的方法,其中,以组的形式引入相邻损伤区(7),用长度比所述组内损伤区(7)的距离大的间隙中断所述组,使得通过蚀刻引入的所述通道(70)合并以形成沿着所述路径(55)伸长的开口(71)。4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其特征在于,所述玻璃盘浸入其中的离子交换浴的碱金属离子穿透到所述通道(70)中并且在所述玻璃盘的内部区域中引发所述通道(70)周围的玻璃中的离子交换,内部区域在所述玻璃盘(1)内的比在侧面(2,3)上的离子交换层的深度更深。5.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其进一步包括将涂层(12)施加到所述玻璃盘(1)的侧面(2,3)中的至少一个侧面上,优选地在化学钢化之后施加所述涂层(12)。6.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,将所述损伤区(7)引入所述玻璃盘中,使得所述损伤区在所述盘(1)内在侧面(2,3)之间的位置处结束,从而使得形成盲孔形式的通道(70)。7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其包括将至少一个聚合物层(15)层压到所述工件(9)。8.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,其中,蚀刻包括以下步骤中的至少一个步骤:‑在包含HF、H2SO4、HCl、NH4HF2中的一种或多种的酸性水溶液中进行蚀刻,‑在氢离子浓度小于25mol/L,优选地小于0.1mol/L的酸性溶液中进行蚀刻,‑在包含LiOH、NaOH、KOH中的一种或多种的碱